[发明专利]一种倒装发光二极管及其制作方法

摘要

本发明提供一种倒装发光二极管及其制作方法，所述发光二极管包括生长衬底；发光外延结构，形成于所述生长衬底之上，所述发光外延结构中形成有N电极台阶；ITO层，形成于所述发光外延结构表面，所述ITO层中形成有图形孔洞结构；Ag反射层，形成所述ITO层及图形孔洞结构内，并同时与ITO层及发光外延结构接触；N焊盘及P焊盘。本发明在溅射或蒸镀的ITO层上腐蚀或刻蚀出规则或不规则图形以单一或组合形式存在，接着蒸镀或溅射Ag反射层使其分别与ITO层与氮化镓发光外延接触，使得部分光线不需要进入ITO层就可以被反射出去，提高了发光二极管的亮度。另外，Ag同时与氮化镓及ITO层接触，提高了导电率，从而提高了电流的效率。

主权项

一种倒装发光二极管的制作方法，其特征在于，所述制作方法包括步骤：步骤1)，提供一生长衬底，于所述生长衬底上形成发光外延结构，并刻蚀出N电极台阶；步骤2)，于所述发光外延结构表面形成ITO层，并于所述ITO层中形成图形孔洞结构；步骤3)，于所述ITO层及图形孔洞结构内制作Ag反射层，使得所述Ag反射层同时与ITO层及发光外延结构接触，所述Ag反射层中定义有P焊盘区域；步骤4)，于所述N电极台阶制作N焊盘，于所述P焊盘区域制作P焊盘。