[发明专利]金属光栅偏光片及其制作方法有效
| 申请号： | 201610303897.4 | 申请日： | 2016-05-09 |
| 公开（公告）号： | CN105785493B | 公开（公告）日： | 2019-01-22 |
| 发明（设计）人： | 陈黎暄 | 申请（专利权）人： | 深圳市华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | G02B5/30 | 分类号： | G02B5/30;G03F7/00 |
| 代理公司： | 深圳市德力知识产权代理事务所 44265 | 代理人： | 林才桂 |
| 地址： | 518132 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供一种金属光栅偏光片及其制作方法。本发明的金属光栅偏光片，包括基板(10)、及形成在基板(10)上的数条金属光栅；所述金属光栅分为高度不同的第一线栅(21)和第二线栅(22)，可以形成一种双周期的光栅结构，从而达成更好的光学性能，具有较多的全局优化参数使得调控其光学性能变得更为科学和灵活。本发明的金属光栅偏光片的制作方法，可以制作出高度层次变化的光栅结构，且制备工艺简单。 | ||
| 搜索关键词： | 金属 光栅 偏光 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
1.一种金属光栅偏光片的制作方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤1、提供金属衬底(100)，在金属衬底(100)上表面涂覆一层光胶(300)；步骤2、提供压印模板(500)，将压印模板放置在光胶(300)上进行纳米压印，使金属衬底(100)上的光胶(300)形成间隔排布的数条第一光阻条(310)和数条第二光阻条(320)，其中，第一光阻条(310)的高度大于第二光阻条(320)的高度；步骤3、移去压印模板(500)，以光胶(300)为遮蔽层，对金属衬底(100)进行干法蚀刻，在金属衬底(100)上形成数条金属光栅，所述金属光栅分为第一线栅(21)和第二线栅(22)，其中第一线栅(21)对应所述第一光阻条(310)形成，第二线栅(22)对应所述第二光阻条(320)形成，得到包括基板(10)、及基板(10)上的数条金属光栅的金属光栅偏光片；其中，数条第一线栅(21)和数条第二线栅(22)在基板(10)上交错设置且呈周期排列，所述第一线栅(21)具有第一高度H1，所述第二线栅(22)具有第二高度H2，所述第一线栅(21)和第二线栅(22)的高度关系满足(H1‑H2)/H1>10％。
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