[发明专利]一种对晶体硅棒进行切割的方法及其切割装置

摘要

一种晶体硅棒的切割装置及其切割方法，涉及人工晶体加工领域，本发明所述的晶体硅棒的切割装置包括机架、床身、硅棒传送机构和硅棒切割机构，其特征在于还包括机械手自动上、下料系统、自动探测定位系统以及数控操作系统，所述的切割机构为金刚石线切割系统。本发明可同时完成多根开方后多晶硅铸锭原料头、尾部分的切割加工，实现整个过程的多工位自动上下料、自动定位、自动切割，明显提高了生产效率、降低了劳动强度。

主权项

一种对晶体硅棒进行切割的方法，该方法是使用晶体硅棒的切割装置进行的，所述切割装置包括机架、床身、硅棒传送机构、硅棒切割机构、机械手自动上、下料系统、数控操作系统和自动探测定位系统，所述自动探测定位系统包括三对对射传感器（16），它们沿切割装置的横向排列成直线，分别对每根硅棒（4）表面上定位贴片所标示的切割线进行探测定位，并根据所探测到的切割线位置由数控操作系统对硅棒（4）的移动进行控制，同时完成对三根晶体硅棒的切割，所述的硅棒切割机构为金刚石线切割系统, 其特征在于：该方法包括：对开方后的硅棒（4）进行检测，以确定硅棒（4）的可使用范围，将突起的定位贴片固定在硅棒（4）的表面，标识出前后端的切割位置；利用导轨丝杠传动机构（2）对三根硅棒（4）分别进行输送，在输送过程中依靠三对位于同一直线上的对射传感器（16）分别对三根硅棒（4）上突起的定位贴片进行探测定位，探测并储存每根硅棒（4）前端的第一定位贴片和后端的第二定位贴片所标示的切割线位置，并由数控操作系统根据该切割线位置移动各根硅棒（4），待三根硅棒（4）的相应切割线抵达同一直线后，再对其同时进行切割；硅棒（4）的首尾切割完成后，用机械手将两端切割下的硅棒（4）放至废料输送装置皮带上移出切割装置，将中间部分成品硅棒放至成品小车。