[发明专利]用于增大电化学沉积速率的方法在审
| 申请号： | 201610320306.4 | 申请日： | 2016-05-13 |
| 公开（公告）号： | CN106149020A | 公开（公告）日： | 2016-11-23 |
| 发明（设计）人： | 艾里克·J·伯格曼;查尔斯·沙尔博诺;山姆·K·李 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | C25D5/08 | 分类号： | C25D5/08;C25D7/12;C25D21/02 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国;赵静 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于电化学处理微特征工件的方法，所述方法包括：使所述微特征工件的第一表面与电镀腔室中的电镀电解液接触，其中所述电镀电解液包括至少一种金属离子；使所述电镀电解液从在所述工件的第一端部处的第一电镀电解液入口经过所述工件的中点向在所述工件的第二端部处的第二电镀电解液出口流动；以及将所述至少一种金属离子电化学沉积到所述工件的所述第一表面上。另一种用于电化学处理微特征工件的方法包括：使所述微特征工件的第一表面与电镀电解液接触，所述电镀电解液具有至少一种金属离子；使用加热方法对所述工件的第二表面进行加热；以及将所述至少一种金属离子电化学沉积到所述工件的所述第一表面上。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 增大 电化学 沉积 速率 方法 | ||
【主权项】：
一种用于电化学处理微特征工件的方法，所述工件具有第一表面和第二表面以及第一端部和第二端部，所述方法包括：使所述微特征工件的所述第一表面与电镀腔室中的电镀电解液接触，其中所述电镀电解液包括至少一种金属离子；使所述电镀电解液从在所述工件的所述第一端部处的第一电镀电解液入口经过所述工件的中点向在所述工件的所述第二端部处的第二电镀电解液出口流动；以及将所述至少一种金属离子电化学沉积到所述工件的所述第一表面上。
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