[发明专利]光罩清洗剂及清洗方法有效
| 申请号： | 201610324070.1 | 申请日： | 2016-05-16 |
| 公开（公告）号： | CN105838507B | 公开（公告）日： | 2019-02-01 |
| 发明（设计）人： | 杜武兵;林伟;吕振群 | 申请（专利权）人： | 深圳市路维光电股份有限公司 |
| 主分类号： | C11D1/72 | 分类号： | C11D1/72;C11D3/24;C11D3/20;C11D3/60;B08B1/00;B08B3/02;B08B3/08 |
| 代理公司： | 深圳市翼智博知识产权事务所(普通合伙) 44320 | 代理人： | 肖伟 |
| 地址： | 518057 广东省深圳*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种光罩清洗剂及清洗方法，所述清洗剂按重量百分比包括以下成分：对氯间二甲苯酚0.5~1.5wt%；脂肪醇聚氧乙烯醚3~5wt%；乙二醇8~10wt%；及余量是水。所述清洗方法包括：将光罩置于碱液中浸泡，并用无尘布擦拭去除光罩两面明显的油污，再取出光罩用水冲洗；将经碱液清洗步骤处理后的光罩置于洗版架上固定好，采用由上述光罩清洗剂浸泡过的海绵擦洗光罩的膜面第一预定遍数；用水冲洗光罩膜面并同时继续用海绵擦拭光罩膜面第二预定遍数，并在停止用海绵擦拭后仍继续用水冲洗第三预定遍数；干燥处理。本发明光罩清洗剂配置成本非常低廉，脏污清除效果显著，清洗方法简单易操作，不需购置昂贵的超声波设备。 | ||
| 搜索关键词： | 光罩清 洗剂 清洗 方法 | ||
【主权项】：
1.一种光罩清洗剂，其特征在于，其按重量百分比由以下成分组成：对氯间二甲苯酚0.5~1.5wt%；脂肪醇聚氧乙烯醚3~5wt%；乙二醇8~10wt%；以及余量是水。
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