[发明专利]一种CO2气体检测用红外滤光片及其制备方法有效
| 申请号： | 201610325524.7 | 申请日： | 2016-05-17 |
| 公开（公告）号： | CN105842770B | 公开（公告）日： | 2018-06-01 |
| 发明（设计）人： | 乔冠军;侯海港;黄清伟;邵海成;刘桂武 | 申请（专利权）人： | 江苏大学 |
| 主分类号： | G02B5/28 | 分类号： | G02B5/28 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 212013 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： |
本发明公开了一种CO2气体检测用红外滤光片及其制备方法，红外滤光片基底材料选用单晶Si，高折射率材料选用Ge，低折射率材料选用SiO。在基板两个表面上分别沉积主膜系面薄膜和干涉截止膜系面薄膜，其镀膜工艺条件为：其中Ge选用电子束蒸镀，沉积速率为 |
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| 搜索关键词： | 沉积 红外滤光片 面薄膜 蒸镀 制备 低折射率材料 镀膜工艺条件 干涉截止膜系 高折射率材料 电子束蒸镀 基底材料 多孔钼 滤光片 透过率 信噪比 主膜系 电热 检测 单晶 基板 探测 | ||
【主权项】：
1.一种CO2 气体检测用红外滤光片，其特征在于：(1)采用单晶Si作基板；硅双面抛光，厚度300±10μm，晶向<100>；(2)镀膜材料选择一氧化硅SiO和单晶锗Ge，在基板两个表面上分别沉积主膜系面薄膜和干涉截止膜系面薄膜；(3)主膜系面薄膜结构采用Air/1.16L1.232HL 6HLHLHL 4HLHLHL 6HLH/Sub；(4)干涉截止膜系面薄膜采用：Sub/0.42(HL)9 0.65(HL)8 1.53(HL)6 /Air；膜系中符号含义分别为：Sub为基板，Air为空气，H和L分别代表高折射率材料膜层Ge和低折射率材料膜层SiO的一个1/4波长光学厚度，中心波长λ＝4260nm，1H＝(4nH d)/λ；1L＝(4nL d)/λ，结构式中数字为膜层的厚度系数、结构式中的指数是膜堆镀膜的周期数。
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