[发明专利]自动控制的微下拉晶体生长装置和自动控制方法在审
| 申请号： | 201610326024.5 | 申请日： | 2016-05-17 |
| 公开（公告）号： | CN105839176A | 公开（公告）日： | 2016-08-10 |
| 发明（设计）人： | 王亚琦;张连翰;杭寅;蔡双 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | C30B15/08 | 分类号： | C30B15/08;C30B15/28;C30B29/62;C30B29/30 |
| 代理公司： | 上海新天专利代理有限公司 31213 | 代理人： | 张泽纯;张宁展 |
| 地址： | 201800 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种实现生长过程自动控制的微下拉晶体生长装置，在传统的微下拉晶体生长设备加入称重系统，实现对生长晶体质量实时监控，对生长晶体的直径的自动控制。与现有微下拉技术相比，该装置成本低，易实现晶体生长自动控制，且具备普适性，适用用于所有生长晶体。 | ||
| 搜索关键词： | 自动控制 下拉 晶体生长 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种自动控制的微下拉晶体生长装置，包括温场保温系统、具有籽晶杆和下降导轨的微下拉系统、炉膛真空系统、电源系统和控制系统，其特征在于，还包括称重单元，所述的称重单元由称重传感器、称重模块、称重箱体组成，所述的称重箱体与下降导轨的下端相连，所述的籽晶杆的底部、称重传感器和称重模块封装在所述的称重箱体中，该籽晶杆的底部固定在所述的称重传感器的顶部，所述的称重模块与所述的称重传感器电性连接，所述的控制系统分别与所述的称重模块和微下拉系统电性连接。
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