[发明专利]改进的多晶太阳电池的扩散工艺

摘要

本发明提供了一种改进的多晶太阳电池的扩散工艺，属于太阳能电池技术领域。它解决了现有技术中的一步扩散法的太阳能电池的转换效率普遍偏低等技术问题。本改进的多晶太阳电池的扩散工艺包括A、低温沉积；B、变温沉积；C、高温沉积；D、升温；E、高温推结；F、冷却。利用本工艺制作出来的多晶太阳能电池具有封装损耗低、电池转化率高的优点。

主权项

改进的多晶太阳电池的扩散工艺，该工艺包括以下步骤：A、低温沉积：将本体置入普通的扩散炉中，扩散炉中温度在790℃保持12分钟，在12分钟内向扩散炉内通入大氮、氧气和小氮的混合气体，大氮与氧气体积比为16:1，小氮的体积：大氮与氧气两者混合气体的体积＝12:100；步骤A中小氮流量为2L/min，氧气的流量为0.4L/min，大氮的流量为7.3L/min；B、变温沉积：将扩散炉内的温度在10分钟内提升至820℃，在10分钟内向扩散炉内通入大氮、氧气和小氮的混合气体，大氮与氧气体积比为18:1，小氮的体积：大氮与氧气两者混合气体的体积＝14:100；步骤B中小氮流量为2.8L/min，氧气的流量为0.7L/min，大氮的流量为7.5L/min；C、高温沉积：在835℃进行4分钟的保温，这个过程中向扩散炉内通入大氮、氧气和小氮的混合气体，大氮与氧气体积比为15:1，所述小氮的体积：大氮与氧气两者混合气体的体积比＝12:100；步骤C中小氮流量为2.5L/min，氧气的流量为0.6L/min，大氮的流量为7.3L/min；D、升温：将10分钟内将扩散炉内的温度升至845℃，升温过程中向扩散炉内通入大氮；E、高温推结：待扩散炉内在850℃温度时稳定后，在14分钟内向扩散炉内通入大氮和氧气的混合气体，氧气占混合气体体积的38％；F、冷却：在14分钟内将扩散炉内的温度降至770℃，这个过程中向扩散炉内通入大氮、氧气的混合气体，氧气占混合气体体积的36％。