[发明专利]一种片状液相纳米颗粒制备方法在审
申请号: | 201610333421.5 | 申请日: | 2016-05-17 |
公开(公告)号: | CN107381498A | 公开(公告)日: | 2017-11-24 |
发明(设计)人: | 边捷 | 申请(专利权)人: | 边捷 |
主分类号: | B81C1/00 | 分类号: | B81C1/00;B82Y40/00 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 210048 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 一种片状液相纳米颗粒制备方法,包括如下步骤(1)在平整衬底上沉积可溶解的牺牲层薄膜材料;(2)再在牺牲层上沉积功能材料;(3)在功能材料层上沉积并制备聚合物材料的纳米图案;(4)以聚合物材料的纳米图案作为刻蚀掩模,利用刻蚀技术将纳米图案转移到下层的功能材料层上,再用刻蚀技术除去多余的聚合物材料;(5)利用合适的液体将牺牲层溶解,同时得到液相的片状功能材料纳米颗粒,颗粒形状与纳米图案一致。本发明方法可应用于制备任意图案的片状液相纳米颗粒,纳米颗粒可以是单层或多层不同材料组合而成;该方法制备工艺简单,可以高效率,低成本地制备最小尺寸为5纳米,最小厚度为0.1纳米且尺寸均一的液相片状纳米颗粒,能够很好的满足实际需求。 | ||
搜索关键词: | 一种 片状 纳米 颗粒 制备 方法 | ||
【主权项】:
一种片状液相纳米颗粒制备方法,其特征是包括如下步骤:步骤1)在平整衬底上沉积可溶解的牺牲层薄膜材料;步骤2)再在牺牲层上沉积功能材料;步骤3)在功能材料层上沉积并制备聚合物材料的纳米图案;步骤4)以聚合物材料的纳米图案作为刻蚀掩模,利用刻蚀技术将纳米图案转移到下层的功能材料层上,再用刻蚀技术除去多余的聚合物材料;步骤5)利用合适的液体将牺牲层溶解,同时得到液相的片状功能材料纳米颗粒,颗粒形状与纳米图案一致。
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