[发明专利]一种紧凑型大功率空心阴极放电装置

摘要

本发明公开了一种紧凑型大功率空心阴极放电装置，包括密封管、空心阴极管、阴极板、第一绝缘板、辅助阳极板、绝缘管、永磁体、环状阳极板、第三水冷通道和控制电源，空心阴极管安装在阴极板上；密封管与阴极板连接，并将空心阴极管套入其中；该密封管顶部还设有气体导入口；第一绝缘板用于实现阴极板和辅助阳极板的绝缘；绝缘管设置在第一绝缘板上；永磁体和第三水冷通道均设置在辅助阳极板外部；环状阳极板与辅助阳极板底部间隔30～50厘米；控制电源分别与阴极板、辅助阳极板和环状阳极板连接。本发明结构简单、功率大，等离子体的参数区间宽，可以应用到更宽广的科研和工业应用中。

主权项

1.一种紧凑型大功率空心阴极放电装置，其特征在于，包括密封管(1)、空心阴极管(2)、阴极板(3)、第一绝缘板(4)、辅助阳极板(5)、绝缘管(7)、永磁体(8)、环状阳极板(10)、第三水冷通道(11)和控制电源，其中：所述空心阴极管(3)安装在阴极板(4)上并且可以前后调节移动；所述密封管(1)与阴极板(3)连接，并将空心阴极管(2)套入其中，以实现对空心阴极管的密封，并为空心阴极管的移动预留余量；该密封管顶部还设有用于将气体输入至空心阴极管中的气体导入口；所述辅助阳极板(5)用作等离子体的弧电极，所述第一绝缘板(4)用于实现阴极板和辅助阳极板的绝缘；所述绝缘管(7)设置在第一绝缘板(4)上，用于防止等离子体起弧打火；所述永磁体(8)和第三水冷通道(11)均设置在辅助阳极板(5)外部；所述环状阳极板(10)用作等离子体的工作电极，其与辅助阳极板(7)底部间隔30～50厘米，并与空心阴极管之间形成高密度等离子体束流；所述控制电源包括起弧电源(13)和恒定电流源(14)，其中，起弧电源(13)分别与阴极板(3)和辅助阳极板(5)连接；恒定电流源(14)正极通与环状阳极板(10)连接，负极与阴极板(3)连接。