[发明专利]一种增量式小量程位移传感器的测量方法

摘要

本发明公开了一种增量式小量程位移传感器的测量方法，该传感器包括激光束、两块反射镜间、分布式光电探测器和处理系统。运用该传感器，通过激光束在一组平行设置的两块反射镜间不断反射，最终照射到分布式光电探测器上，改变两块反射镜的间距，即会改变激光束的反射路径，分布式光电探测器上的探测部件一、探测部件二和探测部件三多次感应激光束，处理系统根据探测部件接收到激光束的次数以及探测部件间的间距处理得到一个探测值，这个探测值大于两块反射镜间距的真实改变值，处理系统能够通过这个探测值来计算出两块反射镜间距的真实改变值，该传感器结构简单，适用于被测物体位移变化的测量，测量可靠，精度较高，易于实现批量制造。

主权项

1.一种增量式小量程位移传感器的测量方法，应用一种增量式小量程位移传感器，该增量式小量程位移传感器包括激光束(11)、两块反射镜、分布式光电探测器(5)和处理系统，所述分布式光电探测器(5)设有固定间距的探测部件一(51)、探测部件二(52)和探测部件三(53)，所述探测部件三(53)设于所述探测部件一(51)和探测部件二(52)的直线连线之间的任意位置，两块所述反射镜平行设置并且能够相对移动，所述激光束(11)与分布式光电探测器(5)相对设置在两块所述反射镜两端，所述激光束(11)入射到其中一块所述反射镜上，经过两块所述反射镜交替反射后，出射到所述分布式光电探测器(5)，并被所述探测部件一(51)、探测部件二(52)和探测部件三(53)感应，所述处理系统用于计算处理所述探测部件一(51)、探测部件二(52)和探测部件三(53)接收到所述激光束(11)的次数和感光顺序，其特征在于，两块反射镜分别是固定反射镜(2)和移动反射镜(3)，其测量方法包括以下步骤：a、将被测物体(7)通过一刚性件连接于所述移动反射镜(3)；b、发射一束激光束(11)，所述激光束(11)以一定角度入射在所述固定反射镜(2)上，假设入射角为θ，所述激光束(11)经过所述固定反射镜(2)和移动反射镜(3)的连续反射后照射到所述分布式光电探测器(5)上；c、移动所述被测物体(7)，带动所述移动反射镜(3)同时移动，位移量值为X，同时所述激光束(11)的反射路径变化，所述激光束(11)被所述分布式光电探测器(5)上的所述探测部件一(51)、探测部件二(52)和探测部件三(53)感应，所述探测部件一(51)和探测部件三(53)的间距值为Y，所述探测部件三(53)和探测部件二(52)的间距值为Z，所述被测物体(7)停止移动时，所述处理系统计算处理所述探测部件一(51)、探测部件二(52)和探测部件三(53)感应到所述激光束(11)的次数和感光顺序以及Y值或Z值，得出所述被测物体(7)的所述位移量值X的值以及位移方向。