[发明专利]一种偏心电容式角位移传感器结构及其使用方法

摘要

本发明涉及一种偏心电容式角位移传感器结构及其使用方法，它包括解调电路和敏感结构，解调电路产生正弦激励信号作用于敏感结构，由敏感结构将电容变化信息返回至解调电路进而获得转角信息。敏感结构包括定子和转子，在定子表面设置有保护电极、激励电极和采集电极；在定子表面最内侧和最外侧均设置有保护电极，紧邻内环保护电极的外侧设置有激励电极，激励电极的外侧设置有采集电极。转子包括保护电极、耦合电极和偏心敏感电极，在转子表面最内侧和最外侧也均设置有保护电极，紧邻内环保护电极外侧设置有耦合电极，耦合电极外侧设置有偏心敏感电极。采集电极和偏心敏感电极呈正对设置，组成测量电容。本发明可减小因径向跳动而导致的测量误差。

主权项

1.一种偏心电容式角位移传感器结构，其特征在于：它包括解调电路和敏感结构，所述解调电路产生正弦激励信号作用于所述敏感结构，由所述敏感结构将电容变化信息返回至所述解调电路进而获得转角信息；所述敏感结构包括定子和转子，所述定子和所述转子同轴平行设置，在所述定子表面设置有保护电极、激励电极和采集电极；在所述定子表面最内侧和最外侧均设置有圆环状的所述保护电极，紧邻内环所述保护电极的外侧设置有圆环状的所述激励电极，所述激励电极的外侧设置有圆环状的所述采集电极；所述转子包括保护电极、耦合电极和偏心敏感电极，在所述转子表面最内侧和最外侧也均设置有圆环状的所述保护电极，紧邻内环所述保护电极外侧设置有圆环状的所述耦合电极，所述耦合电极外侧设置有圆环状的所述偏心敏感电极，所述耦合电极和所述偏心敏感电极部分相连；所述采集电极和所述偏心敏感电极呈正对设置，组成测量电容；所述定子表面设置有8个内外均匀分布的扇形采集电极，4个扇形采集电极形成一个圆环，共构成两个圆环；按直角坐标系分为四个扇形象限区，第一扇形象限外环设置为第一采集电极，内环设置为第二采集电极；第二扇形象限外环设置为第七采集电极，内环设置为第八采集电极；第三扇形象限外环设置为第三采集电极，内环设置为第四采集电极；第四扇形象限外环设置为第五采集电极，内环设置为第六采集电极。