[发明专利]一种用于太赫兹无损检测的扫描台、扫描成像装置及方法

摘要

本发明公开了一种用于太赫兹无损检测的扫描台、扫描成像装置及方法，该扫描台包括第一支架，所述第一支架上安装有X轴支撑导向机构，所述X轴支撑导向机构上设置有第一滑块，第一滑块在X轴传动机构的作用下，沿X轴支撑导向机构作直线运动；第一滑块上安装有第二支架，所述第二支架上安装有Y轴支撑导向机构，Y轴支撑导向机构上设置有第二滑块，第二滑块在Y轴传动机构的作用下，沿Y轴支撑导向机构作直线运动；X轴支撑导向机构和Y轴支撑导向机构上分别设置有第一光栅尺和第二光栅尺，第一滑块和第二滑块上分别设置有第一读数头和第二读数头。

主权项

1.一种用于太赫兹无损检测的扫描成像装置的工作方法，其中，所述扫描成像装置包括太赫兹发射源和扫描台，所述太赫兹发射源发射太赫兹波穿过测试样品；所述扫描台包括第一支架，所述第一支架上安装有X轴支撑导向机构，所述X轴支撑导向机构上设置有第一滑块，所述第一滑块在X轴传动机构的作用下，沿X轴支撑导向机构作直线运动；所述第一滑块上安装有第二支架，所述第二支架上安装有Y轴支撑导向机构，所述Y轴支撑导向机构上设置有第二滑块，所述第二滑块在Y轴传动机构的作用下，沿Y轴支撑导向机构作直线运动；所述第二滑块安装有用于固定测试样品的夹具；所述X轴支撑导向机构和Y轴支撑导向机构上分别设置有第一光栅尺和第二光栅尺，第一滑块和第二滑块上分别设置有第一读数头和第二读数头；第一读数头读取其与第一光栅尺平行的X轴相对位移信息，并传送至控制器进行计算X轴上扫描点位置信息；第二读数头读取其与第二光栅尺平行的Y轴相对位移信息，并传送至控制器进行计算Y轴上扫描点位置信息，所述控制器与上位机互相通信；其特征在于，所述扫描成像装置的工作方法，包括以下步骤：步骤(1)：将测试样品固定在扫描台的夹具上；步骤(2)：测试上位机与控制器通信状态，通信成功后配置扫描台参数：输入测试样品长度、宽度及扫描步进；步骤(3)：上位机依据配置的扫描台参数，计算出测试样品所有扫描步进点坐标；步骤(4)：上位机向控制器发送扫描台原点校准指令进行扫描台的原点校正，校正完成后，进入下一步：步骤(5)：上位机启动扫描台位置反馈坐标实时接收线程，并向控制器发送扫描台连续扫描指令同时开始采样测试样品波形数据线程，在测试样品采样过程中对采样点进行取舍判断，直至扫描至终点结束；步骤(6)：上位机依据测试样品采样点数据，生成测试样品无损检测图像；其中，所述步骤(5)中，在测试样品采样过程中对采样点进行取舍判断处理的具体过程，包括：步骤(5.1)：计算相邻扫描步进点坐标差值，根据坐标差值计算出运动脉冲数量，通过上位机命令串口发送至控制器；步骤(5.2)：控制器驱动X轴、Y轴传动机构，扫描台启动连续扫描；步骤(5.3)：上位机获取当前时刻以及下一时刻的波形数据，同时读取位置串口的位置坐标作为该时刻采样点坐标；步骤(5.4)：比较读取的当前时刻以及下一时刻采样点位置的纵坐标是否相等，当两者相等时，计算当前时刻以及下一时刻的采样点横坐标差值，若计算得到的差值小于扫描步进的1/2倍，则舍弃下一时刻采样点数据，继续下一次数据采集；否则，保存下一时刻采样点数据；当前时刻以及下一时刻采样点位置的纵坐标不相等时，舍弃下一时刻采样点数据，继续下一次数据采集；步骤(5.5)：重复执行步骤(5.2)‑步骤(5.4)，直至扫描结束。