[发明专利]测量待测气体中磷化氢含量的方法在审
申请号: | 201610351302.2 | 申请日: | 2016-05-25 |
公开(公告)号: | CN106066322A | 公开(公告)日: | 2016-11-02 |
发明(设计)人: | 毛智慧;张云晖;亢若谷;金波;钱津旺;李晓华;韩小叶;郭秀红;卢华;曾娟 | 申请(专利权)人: | 昆明冶研新材料股份有限公司 |
主分类号: | G01N21/71 | 分类号: | G01N21/71 |
代理公司: | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人: | 李志东 |
地址: | 655011 云南省昆*** | 国省代码: | 云南;53 |
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摘要: | 本发明公开了测量待测气体中磷化氢含量的方法。该方法包括:采集预定体积的待测气体,并利用磷化氢吸收液吸收所述待测气体中的磷化氢,以便得到吸收后液;以及利用ICP‑AES仪检测对所述吸收后液进行光谱检测,基于所述光谱检测结果确定所述气体中磷化氢的含量。该方法利用磷化氢吸收液吸收富集待测气体中的磷化氢,再利用高精度的ICP‑AES仪检测富集了磷化氢的吸收后液中的磷元素的浓度,从而得到待测气体中磷化氢的含量。相对于现有的不经富集直接利用分析仪器检测气体中磷化氢的方法,该方法的准确性和精密度显著提高,可用于检测含低浓度磷化氢气体的磷含量。 | ||
搜索关键词: | 测量 气体 磷化氢 含量 方法 | ||
【主权项】:
一种测量待测气体中磷化氢含量的方法,其特征在于,包括:采集预定体积的待测气体,并利用磷化氢吸收液吸收所述待测气体中的磷化氢,以便得到吸收后液;以及利用ICP‑AES仪检测对所述吸收后液进行光谱检测,基于所述光谱检测结果确定所述气体中磷化氢的含量。
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