[发明专利]测量待测气体中磷化氢含量的方法在审

专利信息
申请号: 201610351302.2 申请日: 2016-05-25
公开(公告)号: CN106066322A 公开(公告)日: 2016-11-02
发明(设计)人: 毛智慧;张云晖;亢若谷;金波;钱津旺;李晓华;韩小叶;郭秀红;卢华;曾娟 申请(专利权)人: 昆明冶研新材料股份有限公司
主分类号: G01N21/71 分类号: G01N21/71
代理公司: 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 代理人: 李志东
地址: 655011 云南省昆*** 国省代码: 云南;53
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摘要: 发明公开了测量待测气体中磷化氢含量的方法。该方法包括:采集预定体积的待测气体,并利用磷化氢吸收液吸收所述待测气体中的磷化氢,以便得到吸收后液;以及利用ICP‑AES仪检测对所述吸收后液进行光谱检测,基于所述光谱检测结果确定所述气体中磷化氢的含量。该方法利用磷化氢吸收液吸收富集待测气体中的磷化氢,再利用高精度的ICP‑AES仪检测富集了磷化氢的吸收后液中的磷元素的浓度,从而得到待测气体中磷化氢的含量。相对于现有的不经富集直接利用分析仪器检测气体中磷化氢的方法,该方法的准确性和精密度显著提高,可用于检测含低浓度磷化氢气体的磷含量。
搜索关键词: 测量 气体 磷化氢 含量 方法
【主权项】:
一种测量待测气体中磷化氢含量的方法,其特征在于,包括:采集预定体积的待测气体,并利用磷化氢吸收液吸收所述待测气体中的磷化氢,以便得到吸收后液;以及利用ICP‑AES仪检测对所述吸收后液进行光谱检测,基于所述光谱检测结果确定所述气体中磷化氢的含量。
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