[发明专利]工艺腔体氧气浓度检测系统以及工艺腔体氧气浓度检测方法在审
| 申请号： | 201610355245.5 | 申请日： | 2016-05-25 |
| 公开（公告）号： | CN105866348A | 公开（公告）日： | 2016-08-17 |
| 发明（设计）人： | 顾海龙;裴雷洪;严骏 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | G01N33/00 | 分类号： | G01N33/00 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 智云 |
| 地址： | 201203 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种工艺腔体氧气浓度检测系统以及工艺腔体氧气浓度检测方法。根据本发明的工艺腔体氧气浓度检测系统包括：前级管道、三通阀、质量流量控制器以及氧气浓度侦测器；其中，前级管道将来自工艺腔体的气体接通至三通阀的第一输入端，质量流量控制器安装在三通阀的第二输入端处，而且三通阀的第二输入端接收用于使自工艺腔体的气体的温度降低的氮气，三通阀的输出端连接至氧气浓度侦测器。 | ||
| 搜索关键词： | 工艺 氧气 浓度 检测 系统 以及 方法 | ||
【主权项】：
一种工艺腔体氧气浓度检测系统，其特征在于包括：前级管道、三通阀、质量流量控制器以及氧气浓度侦测器；其中，前级管道将来自工艺腔体的气体接通至三通阀的第一输入端，质量流量控制器安装在三通阀的第二输入端处，而且三通阀的第二输入端接收用于使自工艺腔体的气体的温度降低的氮气，三通阀的输出端连接至氧气浓度侦测器。
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