[发明专利]静电放电电流波形检测系统及测试方法在审

专利信息
申请号: 201610361369.4 申请日: 2016-05-27
公开(公告)号: CN107436382A 公开(公告)日: 2017-12-05
发明(设计)人: 陈昭;程玉华 申请(专利权)人: 上海北京大学微电子研究院
主分类号: G01R23/16 分类号: G01R23/16;G01R13/00
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 201203 上海*** 国省代码: 上海;31
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摘要: 发明提出ESD静电防护中的CDM模型的电流检测系统及测试方法,以完成对CDM模型的ESD电流波形的抓取,便于为以CDM模型为基础的ESD静电防护提供数据支持。该系统结构包括用于支持的测试机台,机台底座上承载测试器件DUT(Device Under Test),机台支架,用于固定系统的检测模块。检测模块包括pogo(弹簧单高跷)探针、测试板等结构。测试机台使用铝合金材质制成,具有螺旋调节升降的功能,同时带有固定装置,可以固定设备的测试板,测试板为双层FR‑4板。Pogo探针为手机天线专用探针,可以满足18GHz及以下条件下的信号测试。同轴电缆特性阻抗为50Ω.所使用的校准模块(即校准电容)为FR‑4材料,电容值为4pF。
搜索关键词: 静电 放电 电流 波形 检测 系统 测试 方法
【主权项】:
静电放电电流波形检测系统,其特征在于,包括:可以调节升降的测试机台,机台上半部分为可以调节松紧的用于固定悬挂装置的支架,所述支架可以固定法兰盘;所述测试板含有容纳螺丝通过的通孔,螺丝通过该通孔以及法兰盘的通孔将测试板与法兰盘连为一体;测试板侧面含有插头,用于连接一端含有配套插座的同轴电缆;测试板底部垂直焊接有pogo( 弹簧单高跷)探针,即探针垂直于测试板平面,用于接触带电器件,获取所需波形;测试机台底座上水平放置校准模块。
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