[发明专利]具有参考光束的激光位移传感器在审
| 申请号： | 201610363291.X | 申请日： | 2016-05-30 |
| 公开（公告）号： | CN107449364A | 公开（公告）日： | 2017-12-08 |
| 发明（设计）人： | 不公告发明人 | 申请（专利权）人： | 上海砺晟光电技术有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/02 | 分类号： | G01B11/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 201103 上海市闵行*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提出一种具有参考光束的激光位移传感器，由激光器、发射镜组、半反半透镜、反射镜、外壳、测控电路、电缆、光电器件、接收镜组、滤光片等部分组成，由激光器发出的激光束经过发射镜组和半反半透镜后产生两束激光一束透过半反半透镜，形成测量光束，投向被测表面并形成测量光斑，再经过接收镜组后在光电器件上成像形成测量波形；另一束经过半反半透镜反射后形成参考光束，经过反射镜后直接投向光电器件，形成参考波形。测控电路对光电器件输出的两个波形进行处理，利用测量波形与参考波形的位置之差作为被测位移值的表征，由此实现位移检测，而且可以消除激光指向性的漂移产生的测量误差。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 参考 光束 激光 位移 传感器 | ||
【主权项】：
一种可抑制激光漂移激光位移传感器，它由激光器、发射镜组、半反半透镜、反射镜、外壳、测控电路、电缆、光电器件、接收镜组、滤光片等部分组成，其特征在于，本发明的激光位移传感器发射镜组前端加入一个半反半透镜，从而产生两束激光：一束透过半反半透镜，形成测量光束；另一束经过半反半透镜后发射，形成参考光束。
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