[发明专利]内表面具有特征结构的保持环

摘要

保持环的一些实施方式具有内表面，所述内表面具有由多个平面刻面形成的第一部分和沿边界邻接第一部分的第二部分，并且保持环包括从外部朝内向下倾斜的截头圆锥形表面。保持环的一些实施方式具有锯齿状内表面或蜿蜒内表面和/或具有不同表面性质或不同倾斜角的交替区域的内表面。

主权项

一种保持环，包括：环形主体，所述环形主体包括顶表面，所述顶表面经配置以被固定至承载头；底表面，所述底表面经配置以接触抛光表面；外表面，所述外表面从外顶部周边处的所述顶表面延伸到外底部周边处的所述底表面；和内表面，所述内表面从内顶部周边处的所述顶表面延伸到内底部周边处的所述底表面，所述内表面包括与所述底表面邻近的第一部分和沿边界邻接所述第一部分的第二部分，其中所述第一部分包括七个或更多个平面刻面、在笔直侧边缘处连接的邻近平面刻面和由所述平面刻面的笔直底部边缘限定的所述内底部周边，并且其中所述第二部分包括从外部朝内向下倾斜的截头圆锥形表面。