[发明专利]一种M2型单晶硅快速收尾方法

摘要

本发明涉及单晶炉提拉法生长单晶硅棒技术领域，尤其是涉及特定直径单晶硅棒的收尾方法，具体公开了一种M2型单晶硅快速收尾方法，通过单晶上升拉速和温校速率等收尾参数的改进，将收尾过程按收尾长度分为0‑3mm、3‑80 mm、81‑100 mm三次。本发明能够使M2型单晶硅棒收尾长度缩短至100mm，收尾时间减少0.5小时，降低原材料用量及能耗，提高生产效率和产能，降低M2型单晶硅生产成本。

主权项

一种M2型单晶硅快速收尾方法，其特征在于，包括前生长、缩径生长和后生长；所述前生长包括：将坩埚停止上升，单晶上升拉速设定为1.00mm/min，温校速率设定为15‑20，收尾开始，至收尾长度达到3mm，再将单晶上升拉速降至0.7 mm/min，温校速率设定为10；所述缩径生长包括：收尾长度在3‑80 mm之间，随收尾长度增长逐次增大单晶拉速并升高温校速率；所述后生长包括：收尾长度在81mm，将温校速率降低至0，单晶上升拉速提高0.05 mm/min；收尾长度在82‑91mm之间，随收尾长度增长逐次增大单晶拉速至1.98 mm/min；收尾长度在91mm之后，保持单晶上升拉速为匀速，待收尾长度达到100mm，将单晶硅棒提断，收尾结束。