[发明专利]CZ‑80单晶炉自动收尾方法

摘要

本发明涉及单晶炉提拉生长单晶硅棒技术领域，尤其是涉及特定单晶炉的自动控制方法，具体公开了一种CZ‑80单晶炉自动收尾方法，通过利用CZ‑80单晶炉的现有单晶生长PLC控制系统，对温校和单晶拉速参数进行设定，控制单晶收尾的长度、直径，实现单晶自动化收尾操作，能够降低单晶硅棒生长过程中的收尾时间，提高收尾效率，能够降低收尾时的断尾率，提高收尾产能，降低收尾的生产成本，并使收尾形状美观。

主权项

CZ‑80单晶炉自动收尾方法，其特征在于，用CZ‑80单晶炉的单晶生长PLC控制系统进行收尾操作，包括：1)单晶收尾开始时单晶拉速和温校值的设定，以及2)单晶收尾结束前随单晶收尾长度的变化而调节单晶拉速和温校值；所述步骤1)中，收尾开始时温校值为20，收尾开始时单晶拉速a依据单晶等径生长末尾段的平均拉速设定，若该平均拉速低于0.8mm/min，则将a设为0.6mm/min，若该平均拉速高于0.8mm/min，则将a设为0.7mm/min；所述步骤2)中，单晶收尾长度达到20mm后，随单晶收尾长度增长逐次增大单晶拉速并同时降低温校值，直至单晶拉速为b且温校值为0，其中b＝(a+0.61)mm/min；单晶拉速的每次增加值在总体上呈递增关系，其递增量为0.01～0.05mm/min；温校值每次降低1～3；所述温校值是CZ‑80单晶炉单晶生长PLC控制系统中的功率变化参数，满足如下关系：温校值设定为x，则每过1min，单晶炉的加热功率对应增加y，y＝x×2.5w；其中，w为加热功率y的单位。