[发明专利]一种用于毛细管放电EUV光源的负载系统

摘要

一种用于毛细管放电EUV光源的负载系统，涉及EUV光源负载设计领域。本发明是为了解决常规DPP EUV光源的电源设计时，负载特性难以模拟，电源设计参数难以确认的问题。本发明所述的左侧部分预脉冲高压电极位于最中心，左侧绝缘套套在预脉冲高压电极的外侧，主脉冲高压电极套在左侧绝缘套的外侧，三者孔对应，通过孔固定连接；右侧部分右侧绝缘套套在地电极的外侧，两者孔对应，且通过孔固定连接，毛细管夹在主脉冲地电极和预脉冲高压电极的之间。它用于模拟真实负载的电极结构。

主权项

一种用于毛细管放电EUV光源的负载系统，其特征在于，它包括预脉冲高压电极(1)、左侧绝缘层(2)、主脉冲高压电极(3)、主脉冲地电极(4)和右侧绝缘层(5)，预脉冲高压电极(1)、左侧绝缘层(2)、主脉冲高压电极(3)、主脉冲地电极(4)和右侧绝缘层(5)的横截面均为T型结构，且该T型结构均为轴对称结构，预脉冲高压电极(1)的T型结构的顶端对称设置有两个通孔，左侧绝缘层(2)的T型结构的顶端对称设置有四个孔，其中，左侧绝缘层(2)上内部两个对称设置的孔间距与预脉冲高压电极(1)的两个通孔的间距相等，左侧绝缘层(2)上外部的两个对称设置的孔为通孔，主脉冲高压电极(3)的T型结构的顶端对称设置有六个孔，其中，主脉冲高压电极(3)上位于内部的两个对称设置的孔间距与左侧绝缘层(2)的内部的两个对称设置的孔间距相等，主脉冲高压电极(3)上位于中部的两个对称设置的孔间距与左侧绝缘层(2)的外部的两个通孔的孔间距相等，主脉冲高压电极(3)上位于外部的两个对称设置的孔为通孔，左侧绝缘层(2)包裹在预脉冲高压电极(1)的外部，主脉冲高压电极(3)包裹在左侧绝缘层(2)的外部，且预脉冲高压电极(1)顶端的通孔与左侧绝缘层(2)上内部两个对称设置的孔和主脉冲高压电极(1)上位于内部的两个对称设置的孔相对应，且通过三者对应孔将三者固定，左侧绝缘层(2)上外部的两个对称设置的孔与主脉冲高压电极(3)上位于中部的两个对称设置的孔对应，通过对应孔将左侧绝缘层(2)和主脉冲高压电极(3)固定，主脉冲地电极(4)的T型结构的顶端对称设置有两个通孔，且该通孔的孔间距等于主脉冲高压电极外部的两个孔间距，螺丝穿入主脉冲地电极(4)上的通孔和主脉冲高压电极上的孔将主脉冲地电极(4)和主脉冲高压电极(3)固定，主脉冲地电极(4)的T型结构的底端设置有一个通孔，螺丝通过该通孔将右侧绝缘层(5)与主脉冲地电极(4)固定，右侧绝缘层(5)包裹在主脉冲地电极(4)的外部，预脉冲高压电极(1)的底端和主脉冲地电极(4)的底端之间设置有毛细管。