[发明专利]照明系统

摘要

本发明的照明系统包括依次排列的光源、椭球碗组件、耦合透镜组、折转模块、微透镜阵列、石英棒、中继透镜组以及照明对象，其中折转模块为全对称式结构。本发明的对称式折转模块减少了光轴方向尺寸，能进一步提升掩膜面照度，且能实现任意比例的视场转换。另外，在保证了照明视场光照强度均匀性的前提下，增大了照明视场内边缘视场的理论数值孔径，提升了边缘视场的光照强度，从而补偿了由于镀膜工艺条件、石英棒的棱边和棱角的毛边漫反射以及漏光等因素引起的照明视场内光照强度中间视场高边缘视场低的影响，进一步有效地保证了照明视场内光照强度的均匀性。

主权项

1.一种照明系统，包括依次排列的光源、石英棒、照明对象，以及设置在所述光源和所述石英棒之间的折转模块，其特征在于，所述折转模块为全对称式结构；所述折转模块包括第一棱柱、第二棱柱、第三棱柱、第四棱柱，其中所述第一棱柱和第二棱柱的尺寸相同，所述第三棱柱和第四棱柱的尺寸相同，第一棱柱、第二棱柱、第三棱柱以及第四棱柱均具有两个相对的平行四边形面和四个矩形面，所述第一棱柱和第二棱柱的一个具有相同尺寸的矩形面沿边缘相接作为进光端，所述第三棱柱和第四棱柱的一个具有相同尺寸的矩形面沿边缘相接作为出光端，所述出光端面总面积与入光端面总面积相等，射入所述折转模块的入光端的一部分光线依次经过第一棱柱和第四棱柱，然后射出所述折转模块，射入所述折转模块的入光端的另一部分光线依次经过第二棱柱和第三棱柱，然后射出所述折转模块。