[发明专利]电镀装置及方法有效
| 申请号： | 201610378266.9 | 申请日： | 2016-05-31 |
| 公开（公告）号： | CN107447242B | 公开（公告）日： | 2020-09-08 |
| 发明（设计）人： | 沈雍迪;傅振鑫;叶志明;罗亦琥;卓瑞木;陈彦羽;张伟 | 申请（专利权）人： | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
| 主分类号： | C25D7/12 | 分类号： | C25D7/12;C25D17/00;C25D21/12 |
| 代理公司： | 北京德恒律治知识产权代理有限公司 11409 | 代理人： | 章社杲;李伟 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 台湾;71 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 提供一种用于镀敷衬底的装置和方法。装置包括：用于容纳电镀溶液的电镀槽；用于在电镀溶液中夹持衬底的衬底夹具；耦合至衬底夹具并且配置为使衬底夹具旋转的旋转驱动器；耦合至旋转驱动器的配电装配件；设置在电镀槽内的阳极；电耦合在阳极和配电装配件之间的供电单元，从而形成电回路；以及用于为电回路提供预定的阻抗值的电流调节构件，其中，由供电单元提供的电压使得电流流经电回路，并且选择预定的阻抗，从而使得在与不存在电流调节构件的情况下测得的结果相比，电流的变化保持在更小的范围内。 | ||
| 搜索关键词： | 电镀 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种用于对衬底进行电化学镀的电镀装置，包括：电镀槽，用于容纳电镀溶液；衬底夹具，用于在所述电镀溶液中夹持衬底；旋转驱动器，电耦合至所述衬底夹具并且配置为使所述衬底夹具旋转；配电装配件，电耦合至所述旋转驱动器；阳极，设置在所述电镀槽中，所述阳极浸入所述电镀溶液中；供电单元，电耦合在所述阳极和所述配电装配件之间，从而形成电回路；以及电流调节构件，用于为所述电回路提供预定的阻抗值，其中，由所述供电单元提供的电压使得电流流经所述电回路，并且选择所述预定的阻抗，从而使得与不存在所述电流调节构件的情况下测得的结果相比，流经所述电回路的电流的变化保持在更小的范围内。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于台湾积体电路制造股份有限公司，未经台湾积体电路制造股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201610378266.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
