[发明专利]双叶门快门装置、光刻机曝光系统及光刻机有效
| 申请号： | 201610379187.X | 申请日： | 2016-05-31 |
| 公开（公告）号： | CN107450273B | 公开（公告）日： | 2019-01-18 |
| 发明（设计）人： | 张辉 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备（集团）股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种双叶门快门装置，包括主动旋转轴、被动旋转轴、第一曲柄摇杆组件、第二曲柄摇杆组件、第一叶片和第二叶片，所述第一叶片经所述第一曲柄摇杆组件被所述主动旋转轴驱动绕所述被动旋转轴旋转，所述第二叶片经所述第二曲柄摇杆组件被所述主动旋转轴驱动绕所述被动旋转轴旋转，所述主动旋转轴和被动旋转轴的轴心互相平行；所述第一叶片和第二叶片随着所述主动旋转轴的旋转分别沿顺时针和逆时针绕所述被动旋转轴做同幅度旋转，从而实现所述第一叶片与第二叶片的接合与打开。 | ||
| 搜索关键词： | 双叶门 快门 装置 光刻 曝光 系统 | ||
【主权项】：
1.一种双叶门快门装置，其特征在于：包括主动旋转轴、被动旋转轴、第一曲柄摇杆组件、第二曲柄摇杆组件、第一叶片和第二叶片，所述第一叶片经所述第一曲柄摇杆组件被所述主动旋转轴驱动绕所述被动旋转轴旋转，所述第二叶片经所述第二曲柄摇杆组件被所述主动旋转轴驱动绕所述被动旋转轴旋转，所述主动旋转轴和被动旋转轴的轴心互相平行；所述第一叶片和第二叶片随着所述主动旋转轴的旋转分别沿顺时针和逆时针绕所述被动旋转轴做同幅度旋转，从而实现所述第一叶片与第二叶片的接合与打开；在叶片完全打开和关闭的状态位置时曲柄和连杆是共线分布的，且此时两套曲柄摇杆机构是基于垂向面对称分布的。
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