[发明专利]扫描探测显微镜

摘要

提供一种当向与外界气体隔断的测量室内的扫描探测显微镜输送试料台并向3维移动机构装接时、抑制在3维移动机构上作用过度的载荷的扫描探测显微镜。在具备悬臂、试料台、使试料台移动的3维移动机构和具有能够与外界气体隔断的内部空间的测量室的扫描探测显微镜中，在测量室的内部至少收纳有悬臂、试料台和3维移动机构，测量室具备用来输送试料台的一对导轨，试料台具备能够在导轨上行进的卡合部，3维移动机构配置在既定位置附近，能够横跨一对导轨之间向该导轨的上下移动，如果试料台被输送到既定位置，则3维移动机构从导轨的下方上升来被装接到试料台的下表面上，使扫描探测显微镜能够进行测量。

主权项

1.一种扫描探测显微镜，具备悬臂、试料台、3维移动机构和测量室，前述悬臂设有相对于试料的表面接触或接近的探针，前述试料台设置前述试料，前述3维移动机构使该试料台3维移动，前述测量室具有能够与外界气体隔断的内部空间，其特征在于，在前述测量室的内部中至少收纳有前述悬臂、前述试料台和前述3维移动机构，前述测量室具备导入口和一对导轨，前述导入口用来导入前述试料台，前述一对导轨用来将从前述导入口导入的前述试料台向前述测量室的内部的既定位置输送，前述试料台具备能够与前述导轨卡合来在该导轨上行进的卡合部，前述3维移动机构配置在前述既定位置附近，能够跨越前述一对导轨之间向该导轨的上下移动，如果向前述既定位置输送前述试料台，则前述3维移动机构从前述导轨的下方上升来被装接到前述试料台的下表面上，使前述扫描探测显微镜能够进行测量。