[发明专利]非对称菱形放大机构压电粘滑直线电机及其激励方法

摘要

一种非对称菱形放大机构压电粘滑直线电机及其激励方法，以解决当前压电粘滑直线电机由于摩擦力综合调控困难所导致的输出机械性能受限等问题。本发明包括预压力调节装置、定子和动子三部分，所述定子的非对称菱形位移放大转换机构具有微位移放大功能，利用其非对称结构可以产生侧向位移，同时增大摩擦驱动力和减小摩擦阻力。通过将摩擦调控波耦合叠加于定子快速变形驱动阶段的锯齿驱动波中，从而降低快速变形驱动阶段定、动子间摩擦阻力，实现对摩擦力的综合调控，显著提升压电粘滑直线电机的机械输出特性。本发明因具有结构简单紧凑、易装配、精度高以及行程大等特点，可以广泛应用于精密光学仪器、半导体加工等微纳精密驱动与定位技术领域。

主权项

一种非对称菱形放大机构压电粘滑直线电机，该非对称菱形放大机构压电粘滑直线电机由预压力调节装置（1）、定子（2）和动子（3）组成；所述定子（2）固定安装在预压力调节装置（1）上，动子（3）固定安装在预压力调节装置（1）上；其特征在于所述预压力调节装置（1）由下支撑台（1‑1）、预压滑台（1‑2）和手动调节螺栓（1‑3）组成；所述下支撑台（1‑1）设置有固定螺钉（1‑1‑1）、固定保持架（1‑1‑2）和锁紧螺杆（1‑1‑3），通过固定保持架（1‑1‑2）和锁紧螺杆（1‑1‑3）采用螺纹连接方式固定预压滑台（1‑2）；下支撑台（1‑1）设置有手动调节螺栓安装孔（1‑1‑4），通过与手动调节螺栓的螺纹连接预紧定子（2）；下支撑台（1‑1）设置有下弹簧固定螺钉（1‑1‑5）和安装弹簧（1‑1‑6）；下支撑台（1‑1）设置有内侧固定导轨（1‑1‑7），内侧固定导轨（1‑1‑7）安装有下导轨安装螺钉（1‑1‑11）和滚珠保持架组件（1‑1‑12）；下支撑台（1‑1）设置有动子安装基面（1‑1‑8）和动子安装螺纹孔（1‑1‑9），通过动子安装螺纹孔（1‑1‑9）将动子（3）安装在动子安装基面（1‑1‑8）上，下支撑台（1‑1）设置有锥形孔（1‑1‑10）；所述预压滑台（1‑2）设置有横向铰链安装孔（1‑2‑1）和纵向铰链安装孔（1‑2‑3），预压滑台（1‑2）设置顶点固定孔（1‑2‑5）和呈垂直对称分布的内安装孔（1‑2‑2），预压滑台（1‑2）端部设置有上导轨安装螺钉（1‑2‑4），预压滑台（1‑2）设置有上弹簧固定螺钉（1‑2‑6），上弹簧固定螺钉（1‑2‑6）和下弹簧固定螺钉（1‑1‑5）分别与安装弹簧（1‑1‑6）的两端固连；预压滑台（1‑2）侧面设置有锁紧螺杆安装孔（1‑2‑7），通过与锁紧螺杆（1‑1‑3）的螺纹连接对预压滑台（1‑2）锁紧固定，预压滑台（1‑2）设置有外侧移动导轨（1‑2‑8）；所述手动调节螺栓（1‑3）和手动调节螺栓安装孔（1‑1‑4）采用螺纹连接固定定子（2）。