[发明专利]电容型压力传感器及其制备方法在审
| 申请号： | 201610398621.9 | 申请日： | 2016-06-06 |
| 公开（公告）号： | CN106092385A | 公开（公告）日： | 2016-11-09 |
| 发明（设计）人： | 孙蓉;帅行天;朱朋莉;胡友根 | 申请（专利权）人： | 中国科学院深圳先进技术研究院 |
| 主分类号： | G01L1/14 | 分类号： | G01L1/14 |
| 代理公司： | 深圳市铭粤知识产权代理有限公司 44304 | 代理人： | 孙伟峰 |
| 地址： | 518055 广东省深圳*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种电容型压力传感器及其制备方法。所述电容型压力传感器包括：第一基底和第二基底；设于第一基底上的第一电极层和设于第二基底上的第二电极层，第一电极层和第二电极层位于第一基底和第二基底之间；设于第一电极层和第二电极层之间的介电层；第一电极层包括多个设于第一基底和介电层之间的凸起。所述制备方法包括：形成包括多个凸起的第一电极层；在第一电极层上形成第一基底；形成第二基底；在第二基底上布设第二电极层；在第二电极层上布设介电层；将第一电极层和第一基底的组合布设于介电层上以使第一电极层位于第一基底和介电层之间。本发明大幅度提高了电容型压力传感器的灵敏度，有效缩短了压力传感器的响应时间。 | ||
| 搜索关键词： | 电容 压力传感器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种电容型压力传感器，其特征在于，所述电容型压力传感器包括：第一基底和第二基底；设于所述第一基底上的第一电极层和设于所述第二基底上的第二电极层，所述第一电极层和所述第二电极层位于所述第一基底和所述第二基底之间；设于所述第一电极层和所述第二电极层之间的介电层；所述第一电极层包括多个设于所述第一基底和所述介电层之间的凸起。
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