[发明专利]一种接触力可控型反射镜检测浮动支撑装置有效

专利信息
申请号: 201610405784.5 申请日: 2016-06-12
公开(公告)号: CN105910572B 公开(公告)日: 2018-06-29
发明(设计)人: 张珑;郑列华;张金平;叶璐;刘政;胡文琦 申请(专利权)人: 中国科学院上海技术物理研究所
主分类号: G01B21/20 分类号: G01B21/20;G01L5/00
代理公司: 上海新天专利代理有限公司 31213 代理人: 郭英
地址: 200083 *** 国省代码: 上海;31
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摘要: 发明公开了一种接触力可控型反射镜检测浮动支撑,包括:橡胶垫、面力传感器、浮动头、顶杆、平衡杠杆、芯轴、轴承座、销轴、轴承、支撑杆、气缸座、小轴、接头、气缸安装板、气缸。气缸通过平衡杠杆驱动顶杆,带动浮动头及橡胶垫为反射镜提供支撑力。其优点是:安装在橡胶垫和浮动头之间的面力传感器,可检测浮动支撑对反射镜的接触力大小及分布。精确控制气缸气压大小可控制支撑力的大小,力重复性高。平衡杠杆及气缸随芯轴通过轴承安装在轴承座上,可在轴承座内自由转动,顶杆会自动保持在竖直向上的方向,方便为镜子提供竖直向上的支撑力。
搜索关键词: 反射镜 平衡杠杆 浮动头 接触力 橡胶垫 支撑力 轴承座 气缸 浮动支撑 力传感器 竖直向上 可控型 顶杆 芯轴 浮动支撑装置 气缸安装板 控制气缸 驱动顶杆 轴承安装 自动保持 可检测 可控制 气缸座 支撑杆 检测 气压 销轴 小轴 轴承 镜子
【主权项】:
1.一种接触力可控型反射镜检测浮动支撑装置,包括:橡胶垫(1)、面力传感器(2)、浮动头(3)、顶杆(4)、平衡杠杆(5)、芯轴(6)、轴承座(7)、销轴(8)、轴承(9)、支撑杆(10)、气缸座(11)、小轴(12)、接头(13)、气缸安装板(14)、气缸(15),其特征在于:在所述的浮动头(3)与橡胶垫(1)之间粘接有面力传感器(2),浮动头(3)通过球型铰链连接在顶杆(4)上,平衡杠杆(5)一端与顶杆(4)相连,另一端通过小轴(12)与接头(13)相连,接头(13)固定在气缸(15)的活塞杆上;轴承(9)外圈固定在轴承座(7)上,芯轴(6)与轴承(9)内圈相连;平衡杠杆(5)与销轴(8)相连,可绕销轴(8)转动,销轴(8)固定在芯轴(6)上,平衡杠杆(5)和气缸(15)可随芯轴(6)在轴承座(7)内转动;气缸(15)固定在气缸安装板(14)上,气缸安装板(14)与气缸座(11)相连,气缸座(11)与支撑杆(10)相连,支撑杆(10)与芯轴(6)一端相连。
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