[发明专利]一种二氧化钒多层膜及其制备方法有效
| 申请号： | 201610408843.4 | 申请日： | 2016-06-12 |
| 公开（公告）号： | CN107487991B | 公开（公告）日： | 2019-11-15 |
| 发明（设计）人： | 金平实;曹逊;孙光耀;李荣;包山虎 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海硅酸盐研究所 |
| 主分类号： | C03C17/34 | 分类号： | C03C17/34;C04B41/52;C23C14/35;C23C14/08 |
| 代理公司： | 31261 上海瀚桥专利代理事务所(普通合伙) | 代理人： | 曹芳玲;郑优丽<国际申请>=<国际公布> |
| 地址： | 200050上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种二氧化钒多层膜及其制备方法，所述二氧化钒多层膜由通过溅射法依次形成在衬底的上的籽晶层、缓冲层、二氧化钒薄膜层以及保护层构成。本发明的二氧化钒多层膜结晶性好，光学性能优异，特别适合于智能玻璃等方面的应用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 氧化 多层 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种二氧化钒多层膜，其特征在于，所述二氧化钒多层膜由通过溅射法依次形成在衬底的上的籽晶层、缓冲层、二氧化钒薄膜层以及保护层构成；所述籽晶层采用氧化锌或掺杂氧化锌；所述缓冲层为二氧化钛、氧化锡、氧化铌、氧化铟中的至少一种。/n
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