[发明专利]利用飞秒激光光丝在硅晶体表面远程制备微结构的装置及方法在审
| 申请号： | 201610430067.8 | 申请日： | 2016-06-16 |
| 公开（公告）号： | CN105834589A | 公开（公告）日： | 2016-08-10 |
| 发明（设计）人： | 孙洪波;徐淮良;詹学鹏 | 申请（专利权）人： | 吉林大学 |
| 主分类号： | B23K26/352 | 分类号： | B23K26/352;B23K26/0622;B23K26/082 |
| 代理公司： | 长春吉大专利代理有限责任公司 22201 | 代理人： | 刘世纯 |
| 地址： | 130012 吉*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种利用飞秒激光光丝在硅晶体表面远程制备微结构的装置及方法，首先，利用长焦距(1000mm)的平凸透镜使飞秒激光脉冲在空气中形成光丝，再利用水平方向的一维电控精密位移平台和竖直方向的一维手动精密位移平台的结合，使飞秒激光光丝能够在硅晶体表面进行扫描。在空气中，飞秒激光在硅晶体表面进行远程微结构的制备，微结构的存在能够降低其反射率，提升其在可见光波段的光吸收率。这种远程加工微结构的技术将在对硅基太阳能电池等光电器件的坏损微结构的修复领域，具有独特的优势和良好应用前景。 | ||
| 搜索关键词： | 利用 激光 晶体 表面 远程 制备 微结构 装置 方法 | ||
【主权项】：
利用飞秒激光光丝在硅晶体表面远程制备微结构的装置，其特征在于，由飞秒激光放大器(1)、光闸(2)、半波片(3)、偏振镜片(4)、平凸透镜(5)、硅晶体(6)及夹具靶台(7)组成，飞秒激光放大器(1)的光路中依次竖直放置光闸(2)、半波片(3)、偏振镜片(4)、平凸透镜(5)，夹具靶台(7)放置于平凸透镜(5)的焦距位置范围内，硅晶体(6)放置在夹具靶台(7)上，夹具靶台(7)上配有水平和竖直两个方向的精密位移平台，水平方向上采用电控的步进电机精密位移平台，竖直方向采用手动精密位移平台。
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