[发明专利]膜厚检测装置有效
| 申请号： | 201610457727.1 | 申请日： | 2016-06-21 |
| 公开（公告）号： | CN106091912B | 公开（公告）日： | 2018-05-25 |
| 发明（设计）人： | 姜利 | 申请（专利权）人： | 威海华菱光电股份有限公司 |
| 主分类号： | G01B7/06 | 分类号： | G01B7/06 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人： | 韩建伟;李志刚 |
| 地址： | 264209 山东省威海*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种膜厚检测装置。该膜厚检测装置包括：公共电极；检测电极，检测电极的检测表面与公共电极的公共表面按照预设位置设置以形成待测膜在检测时的检测通道；信号处理电路，与检测电极相连接，用于消除检测电极的原始偏差信号。通过本发明，达到了提高膜厚检测装置的检测精度的效果。 | ||
| 搜索关键词： | 膜厚检测装置 检测电极 公共电极 信号处理电路 公共表面 检测表面 检测通道 偏差信号 消除检测 预设位置 电极 检测 | ||
【主权项】：
1.一种膜厚检测装置，其特征在于，包括：公共电极；检测电极，所述检测电极的检测表面与所述公共电极的公共表面按照预设位置设置以形成待测膜在检测时的检测通道；以及信号处理电路，与所述检测电极相连接，用于消除所述检测电极的原始偏差信号；其中，所述信号处理电路包括：相关二重采样电路，在时钟的电平为高电平时，所述相关二重采样电路的负极输入端的信号等于所述检测电极的所述原始偏差信号，在所述时钟的电平为低电平时，所述相关二重采样电路的正极输入端信号等于所述信号处理电路的移位控制电路输出的SIG信号，所述SIG信号用于消除所述检测电极的原始偏差信号。
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