[发明专利]离子束线

摘要

本发明涉及离子束线。在一个方面，公开了一种离子注入系统，所述离子注入系统包括减速系统，其被构造成接收离子束并且以至少2的减速比将离子束减速；静电弯道，其设置在所述减速系统的下游，用于造成所述离子束偏转。所述静电弯道包括用于接收减速离子束的三个串联电极对，其中，各电极对具有分隔开以允许离子束从中通过的内部电极和外部电极。末端电极对的电极中的每个被保持在比中间电极对的任一个电极所保持的电位低的电位并且第一电极对的电极被保持在相对于中间电极对的电极的更低电位。

主权项

一种离子注入系统，所述离子注入系统包括：减速系统，其被构造成接收离子束并且以至少为2的减速比将所述离子束减速；静电弯道，其被设置在所述减速系统的下游，用于造成所述离子束的偏转，所述静电弯道包括：第一电极对，其被设置在所述减速系统的下游，用于接收被减速的所述离子束，所述第一电极对具有被分隔开以允许所述离子束穿过其间的内部电极和外部电极，第二电极对，其被设置在所述第一电极对的下游，并且具有被分隔开以允许所述离子束穿过其间的内部电极和外部电极，以及末端电极对，其被设置在所述第二电极对的下游，并且具有被分隔开以允许所述离子束穿过其间的内部电极和外部电极，其中，所述第一电极对、所述第二电极对和所述末端电极对被构造成被独立地偏置，其中，所述末端电极对的各电极被保持在比所述第二电极对的任一个电极所保持的电位小的电位，并且所述第一电极对的电极相对于所述第二电极对的电极而被保持在更低的电位。