[发明专利]平面光学元件表面疵病的检测装置及其检测方法

摘要

本发明提供一种平面光学元件表面疵病的检测装置，其包括：工作台、气动浮台、三轴移动滑台及显微物镜成像设备。气动浮台设置于所述工作台上，且能绕自身轴线以一定角速度转动。气动浮台用于放置待检测的光学元件。所述三轴移动滑台设置于工作台上。显微物镜成像设备设置于三轴移动滑台的末端，用于拍摄气动浮台上的光学元件。三轴移动滑台将显微物镜成像设备移动至气动浮台的正中心，并在每间隔一预设时间时，驱动所述显微物镜成像设备向气动浮台的边缘移动一预设距离，直至所述显微物镜成像设备位于所述气动浮台的边缘。本发明还提供一种检测方法。本发明能够对光学元件表面疵病的进行检测及数字化评估，极大提高检测效率及检测精度。

主权项

一种检测装置，所述检测装置用于检测平面光学元件的表面疵病，其特征在于，所述检测装置包括：工作台；气动浮台，所述气动浮台设置于所述工作台上，且能够绕自身轴线以一定角速度转动，所述气动浮台用于放置待检测的光学元件；三轴移动滑台，所述三轴移动滑台设置于所述工作台上；显微物镜成像设备，所述显微物镜成像设备可滑动地设置于所述三轴移动滑台的末端，所述显微物镜成像设备用于拍摄所述气动浮台上的光学元件；所述三轴移动滑台将所述显微物镜成像设备移动至所述气动浮台的正中心，且在每间隔一预设时间时，驱动所述显微物镜成像设备向所述气动浮台的边缘移动一预设距离，直至所述显微物镜成像设备位于所述气动浮台上的光学元件的边缘。