[发明专利]金属制杯的镀膜方法

摘要

本发明是有关于一种金属制杯的镀膜方法，其主要于操作环境下设有转架，该转架内对应放置欲镀膜的金属杯体，且该转架一侧对应设有欲镀金属靶材，并于靶材与转架之间设有气道治具，该气道治具上设有气嘴对应喷导惰性气体于金属杯体，经由环境升温至一定值后起弧放电，电弧撞击靶材而使其流离化，并配合靶材对应角度及气道治具所导出的惰性气体反应，而让靶材金属化合物沉积于杯体表面；通过上述步骤，达到均匀镀膜的工艺。

主权项

1.一种金属制杯的镀膜方法，其步骤如下：S1)在真空炉内，将数个欲镀膜金属杯体置设于转架上，位于转架一侧固设有欲镀金属靶材，且在靶材与转架之间设有气道治具，该气道治具设有数个对应欲镀膜的金属杯体的气嘴，所述气道治具可导入惰性气体，能经气嘴喷散出来；S2)将真空炉抽取真空，并加热40分钟，升温至140℃，让炉内真空度达到8.5×10‑3Pa的状态；S3)当真空炉内的真空度达到8.5×10‑3Pa时，进行开弧加入惰性气体持续60分钟，并加热让炉内温度提升至250℃，此时炉内真空度落在1.0×10‑1Pa，于此进行离子溅镀，经启弧放电让靶材离子化，带负电的靶材原子往带正电的转架上的金属杯体强制驱动，并与气道治具导入吹散在炉内的惰性气体反应而沉积溅镀于金属杯体表面，再让所述气道治具可旋转且相对转架呈反向转动，经设定让所述气道治具的气嘴对应每一金属杯体的杯口往内喷气停留3‑5秒钟；S4)离子溅镀过程让炉内温度维持250℃，40分钟后关弧、关气；S5)关弧、关气后，炉内真空度再度提升至8.5×10‑3Pa。