[发明专利]一种线切割砂浆供应系统及方法在审
| 申请号： | 201610472257.6 | 申请日： | 2016-06-24 |
| 公开（公告）号： | CN107538632A | 公开（公告）日： | 2018-01-05 |
| 发明（设计）人： | 吴镐硕 | 申请（专利权）人： | 上海新昇半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | B28D7/00 | 分类号： | B28D7/00;B28D7/02;B28D5/04 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所(普通合伙)31219 | 代理人： | 余明伟 |
| 地址： | 201306 上海市浦东*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种线切割砂浆供应系统及方法，所述线切割砂浆供应系统包括砂浆喷嘴，所述砂浆喷嘴设置于切割线装置的上方，且通过管道与砂浆供应装置及冲洗装置连接；所述冲洗装置通过管道与所述砂浆喷嘴连接，并通过砂浆喷嘴喷淋清洗砂浆喷嘴及所述切割线装置。本发明主要用于解决现有技术中由于砂浆喷嘴被堵塞而影响砂浆喷流状况，从引起的晶圆质量恶化的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 切割 砂浆 供应 系统 方法 | ||
【主权项】：
一种线切割砂浆供应系统，其特征在于：所述线切割砂浆供应系统包括：砂浆喷嘴及冲洗装置，所述砂浆喷嘴设置于切割线装置的上方，且通过管道与砂浆供应装置连接；所述冲洗装置通过管道与所述砂浆喷嘴连接，并通过所述砂浆喷嘴喷淋清洗砂浆喷嘴及所述切割线装置。
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