[发明专利]成膜装置及层叠体

摘要

本发明提供一种成膜装置及层叠体。在基材表面进行成膜处理，获得从一侧观察包括透明层与金属性的不透明层的层叠体。在成膜装置中，确定部基于从输入部输入的颜色信息，参照对应数据来确定成膜条件。另外，成膜条件中至少包含透明层的膜厚作为层叠体的颜色调整要素。在从所述一侧将光照射至层叠体的情况下，产生在透明层表面反射的光与在不透明层表面反射的光的干涉作用。能够通过调整透明层的膜厚使所述干涉作用发生变化，而调整层叠体的颜色。因此，能够高精度且稳定地获得所期望的颜色的层叠体。

主权项

1.一种成膜装置，其是在基材表面的一侧形成至少一层膜而获得层叠体的成膜装置，其特征在于包括：处理室，其内部具有处理空间；基材保持部，在所述处理室内保持所述基材；气体供应部，将气体供应至所述处理空间；排气部，排出所述处理室内的气体；成膜处理部，在保持于所述基材保持部的所述基材的所述表面执行成膜处理；输入部，输入从所述一侧观察所述层叠体时的颜色信息；存储部，针对多种颜色，存储有使颜色信息与用以获得从所述一侧观察而呈现所述颜色的所述层叠体的成膜条件相对应而成的对应数据；以及确定部，基于从所述输入部输入的所述颜色信息，参照所述对应数据来确定所述成膜条件，且所述层叠体从所述一侧观察，依次包括透明层与金属制的不透明层，所述成膜条件中至少包含所述透明层的膜厚作为颜色调整要素。