[发明专利]氙灯准分子紫外光氧化真空设备及其使用方法在审
| 申请号： | 201610473918.7 | 申请日： | 2016-06-24 |
| 公开（公告）号： | CN107546100A | 公开（公告）日： | 2018-01-05 |
| 发明（设计）人： | 陶海华;陈险峰;苏树彬;王国征;张子宇;吴艺璇 | 申请（专利权）人： | 上海交通大学;上海国达特殊光源有限公司 |
| 主分类号： | H01J61/16 | 分类号： | H01J61/16;H01J61/28 |
| 代理公司： | 上海汉声知识产权代理有限公司31236 | 代理人： | 郭国中 |
| 地址： | 200240 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供的一种氙灯准分子紫外光氧化真空设备及其使用方法，包括真空腔室，在真空腔室内设有控制机构；氙灯准分子放电管，氙灯准分子放电管设置在真空腔室内部，在氙灯准分子放电管内设有水冷装置，氙灯准分子放电管与控制机构连接；样品架，样品架从外侧穿过真空腔室的底部进入真空腔室内部，并且样品架与氙灯准分子放电管平行；氧气入口、氮气入口及排气口，氧气入口、氮气入口及排气口设置在真空腔室的侧壁上，氧气入口、氮气入口及排气口与真空腔室的内腔连通；控制系统设置在真空腔室上。与现有技术相比，本发明的有益效果如下采用氙灯准分子放电管，其发射172nm波长的紫外光，通过调控真空腔室内氧气含量，即可在常温下对材料表面实现高强度紫外光氧化。 | ||
| 搜索关键词： | 氙灯 分子 紫外 光氧化 真空设备 及其 使用方法 | ||
【主权项】：
一种氙灯准分子紫外光氧化真空设备，其特征在于，包括：真空腔室，在真空腔室内设有控制机构；氙灯准分子放电管，氙灯准分子放电管设置在真空腔室内部，在氙灯准分子放电管内设有水冷装置，氙灯准分子放电管与控制机构连接；样品架，样品架从外侧穿过真空腔室的底部进入真空腔室内部，并且样品架与氙灯准分子放电管平行；氧气入口、氮气入口及排气口，氧气入口、氮气入口及排气口设置在真空腔室的侧壁上，氧气入口、氮气入口及排气口与真空腔室的内腔连通；控制系统设置在真空腔室上。
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