[发明专利]准全程补偿的激光回馈干涉仪

摘要

本发明提供一种准全程补偿的激光回馈干涉仪，包括：一激光模组输出两束同向且相互平行的激光；一分光镜使激光模组输出的两束激光透射后成为第一透射光及第二透射光；一声光移频模组对第一透射光及第二透射光进行移频；一汇聚透镜将第一透射光及第二透射光汇聚；一第一发散透镜将汇聚后的第一透射光及第二透射光分离；一准直模组使分离后的第一透射光及第二透射光准直且相互平行；一参考镜将第一透射光反射后沿原路返回第一激光器，第二透射光被待测目标反射后沿原路返回第二激光器；一光电探测模组将第一反射光及第二反射光转换为电信号；以及一信号处理系统，将光电探测模组输入的电信号进行处理。本发明能够准确测量远距离待测目标的位移。

主权项

1.一种准全程补偿的激光回馈干涉仪，包括：一激光模组，包括一第一激光器及一第二激光器间隔设置，输出两束同向且相互平行的激光；一分光镜，设置于从所述激光模组输出激光的光路上，且所述分光镜与所述激光模组间隔设置，将第一激光器输出的激光分为第一反射光及第一透射光，将第二激光器输出的激光分为第二反射光及第二透射光；一声光移频模组，设置于从分光镜出射的第一透射光及第二透射光的光路上，并对第一透射光及第二透射光进行移频；其特征在于，进一步包括：一汇聚透镜，设置于所述声光移频模组的出射光路上，将第一透射光及第二透射光汇聚；一第一发散透镜，设置于从所述汇聚透镜出射光路上，将汇聚后的第一透射光及第二透射光分离；一准直模组，设置于所述第一发散透镜的出射光路上，使分离后的第一透射光及第二透射光准直且相互平行；一参考镜，设置于待测目标附近，且与准直模组出射的第一透射光垂直，第一透射光被参考镜反射后沿原路返回第一激光器，作为参考回馈光，第二透射光被待测目标反射后沿原路返回第二激光器，作为测量回馈光；一光电探测模组，设置于所述第一反射光及第二反射光的光路上，并将第一反射光及第二反射光转换为电信号；以及一信号处理系统，与所述光电探测模组相连，将光电探测模组输入的电信号进行处理，计算参考回馈光和测量回馈光的相位变化量及相应的位移信息。