[发明专利]一种多晶硅片切削液的制备方法有效
申请号: | 201610483992.7 | 申请日: | 2016-06-28 |
公开(公告)号: | CN106118822B | 公开(公告)日: | 2018-07-10 |
发明(设计)人: | 郭舒洋;薛培龙 | 申请(专利权)人: | 上海都昱新材料科技有限公司 |
主分类号: | C10M169/04 | 分类号: | C10M169/04;C10M177/00;C10N30/04;C10N30/06 |
代理公司: | 浙江永鼎律师事务所 33233 | 代理人: | 陆永强 |
地址: | 201108 上海市闵*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明涉及一种多晶硅片切削液的制备方法,属于材料加工技术领域。本发明主要是将制备的纯山茶油与提取荷叶表面的薄膜粉碎而成的粉末搅拌混合并加热,再与三氟乙酸、二乙醇胺等物质进行加热混合,制备成多晶硅片切削液。本发明制备的多晶硅片切削液分散性能优异,切割成品率达到98%以上;且有良好的润滑性能,不会使得硅片表面存在大量划痕。 | ||
搜索关键词: | 制备 多晶硅片 切削液 材料加工技术 粉末搅拌混合 二乙醇胺 分散性能 硅片表面 荷叶表面 加热混合 润滑性能 三氟乙酸 成品率 山茶油 划痕 薄膜 加热 切割 | ||
【主权项】:
1.一种多晶硅片切削液的制备方法,其特征在于具体制备步骤为:(1)选取0.2~0.5kg成熟山茶籽,用清水冲洗干净后,置于太阳下暴晒,使其含水量为3~6%,再将暴晒后的山茶籽置于脱壳机中进行脱壳处理,收集山茶籽仁,并将山茶籽仁置于粉碎机中粉碎并过70目筛,得山茶籽仁颗粒;(2)将山茶籽仁颗粒置于冷榨榨油机中进行压榨,得含渣山茶油,将含渣山茶油加热至80~85℃,保温30~40min后,过滤,得山茶油,再将山茶油与山茶油质量1~2%活性炭进行混合搅拌,并加热至105~120℃,加热30~40min后,使其自然冷却至60~70℃,过滤,去除活性炭,得纯山茶油,备用;(3)采摘颜色翠绿的荷叶,用清水将其表面冲洗干净后,晾干,使其含水量为15~20%后,将晾干的荷叶与质量分数为30%碳酸钠溶液按固液比1:3进行混合浸泡2~3h,再对其加热至45~55℃,加热至混合物中无气泡产生;(4)待加热完成后,取出混合物中的荷叶,并置于温度为45~55℃烘箱中烘干24~30min后,将荷叶表面的薄膜取出,并置于球磨机中球磨,得荷叶粉末;(5)按固液比3:1,将步骤(2)制备的纯山茶油与上述制备的荷叶粉末搅拌混合均匀,并置于烧杯中,再对烧杯进行加热,控制加热温度为75~85℃,加热45~50min后,再自然冷却至室温,得混合物;(6)按重量份数计,分别称量上述制备的80~84份混合物、3~4份三氟乙酸、5~6份二乙醇胺、7~8份乙烯-丙烯酸共聚物、1~2份聚氧乙烯聚氧丙醇胺醚,并将其置于调和罐中,搅拌加热至60~75℃,恒温搅拌,直至混合液完全透明后,再自然冷却至室温,即可制备得一种多晶硅片切削液。
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