[发明专利]一种多晶硅铸锭用硅夹层氮化硅涂层的制备方法在审
| 申请号： | 201610485333.7 | 申请日： | 2016-06-29 |
| 公开（公告）号： | CN105862123A | 公开（公告）日： | 2016-08-17 |
| 发明（设计）人： | 张嵘;刘久明;颜记朋 | 申请（专利权）人： | 河北高富氮化硅材料有限公司 |
| 主分类号： | C30B28/06 | 分类号： | C30B28/06;C30B29/06;B05D1/38;B05D1/02;B05D3/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 054300 河北省*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种多晶硅铸锭用硅夹层氮化硅涂层的制备方法，其制备方法如下：（1）将氮化硅粉体、硅溶胶和超纯水混合均匀得到乳浆状氮化硅溶液；（2）将硅粉、硅溶胶和超纯水混合均匀得到乳浆状硅溶液；（3）在坩埚底部和内壁均匀地喷涂步骤（1）得到的氮化硅溶液，烘干后在坩埚底部刷涂步骤（2）得到的硅溶液，再次烘干后在坩埚底部和内壁二次喷涂步骤（1）得到的氮化硅溶液的剩余部分。本发明在氮化硅涂层中设计硅夹层，硅夹层可与坩埚底部扩散进入的杂质氧反应，避免氧扩散到硅锭中，有效减小硅锭底部杂质区域的宽度，从而减小硅锭开方时底部切除宽度，减少了资源的浪费，节约生产成本，适合多晶硅铸锭工业规模化应用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 多晶 铸锭 夹层 氮化 涂层 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种多晶硅铸锭用硅夹层氮化硅涂层的制备方法，其特征是：所述的方法包括以下步骤：（1）将氮化硅粉体、硅溶胶和超纯水混合均匀得到乳浆状氮化硅溶液，其中：所述氮化硅粉体、硅溶胶和超纯水的质量比为1: (0.3~0.6) : (2~4)；所述氮化硅粉体的用量为800~1000g/G6坩埚之间；（2）将硅粉、硅溶胶和超纯水混合均匀得到乳浆状硅溶液，其中：所述硅粉、硅溶胶和超纯水的质量比为1: (0.3~0.6) : (2~4)；所述硅粉的用量为步骤（1）所述氮化硅粉体用量的1%~10%；（3）在坩埚底部和内壁均匀地喷涂步骤（1）得到的氮化硅溶液，烘干后在坩埚底部刷涂步骤（2）得到的硅溶液，再次烘干后在坩埚底部和内壁二次喷涂步骤（1）得到的氮化硅溶液的剩余部分，所述喷涂温度为55~100℃。
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