[发明专利]湿制程设备清洁装置及湿制程设备在审
申请号: | 201610487931.8 | 申请日: | 2016-06-28 |
公开(公告)号: | CN106081561A | 公开(公告)日: | 2016-11-09 |
发明(设计)人: | 阳振军;汪永佳 | 申请(专利权)人: | 昆山国显光电有限公司 |
主分类号: | B65G45/18 | 分类号: | B65G45/18 |
代理公司: | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人: | 唐清凯 |
地址: | 215300 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开了一种湿制程设备清洁装置及湿制程设备,所述湿制程设备清洁装置用于清洁湿制程设备中的输送机构,包括支撑组件、清洁组件和调节组件;支撑组件具有第一端面;第一端面与输送机构的表面相对设置;清洁组件安装在第一端面上,并朝向输送机构的表面;调节组件与支撑组件连接,用于调节第一端面与输送机构的表面之间的距离,使得清洁组件能够与输送机构的表面相接触并产生摩擦。其通过设置湿制程设备清洁装置对湿制程设备中的输送机构进行清洁来代替人工清洁,有效提高了清洁效率,达到了省时省力的效果,最终有效解决了传统的采用人工清洁湿制程机台的输送机构方式需要耗费大量的人力和时间的问题。 | ||
搜索关键词: | 湿制程 设备 清洁 装置 | ||
【主权项】:
一种湿制程设备清洁装置,其特征在于,所述湿制程设备清洁装置用于清洁湿制程设备中的输送机构,包括支撑组件、清洁组件和调节组件;所述支撑组件具有第一端面;所述第一端面与所述输送机构的表面相对设置;所述清洁组件安装在所述第一端面上,并朝向所述输送机构的表面;所述调节组件与所述支撑组件连接,用于调节所述第一端面与所述输送机构的表面之间的距离,使得所述清洁组件能够与所述输送机构的表面相接触并产生摩擦。
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