[发明专利]一种掩膜版组件及其安装方法、蒸镀装置有效
| 申请号： | 201610493408.6 | 申请日： | 2016-06-28 |
| 公开（公告）号： | CN106086782B | 公开（公告）日： | 2018-10-23 |
| 发明（设计）人： | 林治明;王震;张健;唐富强;黄俊杰 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京中博世达专利商标代理有限公司 11274 | 代理人： | 申健 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明实施例提供一种掩膜版组件及其安装方法、蒸镀装置，涉及显示技术领域，能够降低掩膜版和背板贴合时掩膜版的偏移量，进而提高产品的合格率。该掩膜版组件包括支撑架以及固定于支撑架上的掩膜版，掩膜版包括有效掩膜区和包围有效掩膜区的无效掩膜区；掩膜版组件还包括固定于支撑架上的第一支撑条，第一支撑条设置于掩膜版背离支撑架一侧，且第一支撑条在支撑架所在平面的投影与掩模板在支撑架所在平面的投影存在第一交叠部分，第一交叠部分位于无效掩膜区在支撑架所在平面的投影区域内。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 掩膜版 组件 及其 安装 方法 装置 | ||
【主权项】：
1.一种掩膜版组件，其特征在于，包括支撑架以及固定于所述支撑架上的掩膜版；所述掩膜版包括有效掩膜区和包围所述有效掩膜区的无效掩膜区；所述掩膜版组件还包括固定于所述支撑架上的第一支撑条，所述第一支撑条设置于所述掩膜版背离所述支撑架一侧，且所述第一支撑条在所述支撑架所在平面的投影与所述掩膜版在所述支撑架所在平面的投影存在第一交叠部分，所述第一交叠部分位于所述无效掩膜区在所述支撑架所在平面的投影区域内。
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