[发明专利]曝光装置、物体的更换方法、曝光方法、以及元件制造方法有效
| 申请号： | 201610497314.6 | 申请日： | 2011-03-10 |
| 公开（公告）号： | CN106019852B | 公开（公告）日： | 2019-08-02 |
| 发明（设计）人： | 青木保夫 | 申请（专利权）人： | 株式会社尼康 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;H01L21/677;B65G49/06 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 任默闻 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 第1搬送单元(50a)，是藉由使从下方支承基板(Pa)的基板匣(90a)滑动于与基板表面平行的一轴方向(Y轴方向)而从基板保持具(22)上搬出。另一方面，第2搬送单元(50b)是与基板(Pa)的搬出动作并行地(在支承基板(Pa)的基板匣(90a)的一部分位于基板保持具(22)上的状态下)，藉由使从下方支承基板(Pb)的基板匣(90b)滑动于Y轴方向而搬入基板保持具(22)上。因此，能迅速地进行基板保持具上的基板的更换。 | ||
| 搜索关键词： | 曝光 装置 物体 更换 方法 以及 元件 制造 | ||
【主权项】：
1.一种曝光装置，藉由能量束使多个物体依序曝光，所述曝光装置包括：保持装置，具有保持所述物体的保持面，能相对所述能量束移动于沿着所述保持面的方向移动；第1搬送装置，具有支撑所述物体的第1支撑面，将所述多个物体中的所述保持面上的第1物体从配置于既定位置的所述保持面上搬出至所述第1支撑面上；以及第2搬送装置，具有支撑前述物体的第2支撑面，在于所述保持面上保持有所述第1物体的一部分的状态下，将所述多个物体中与所述第1物体不同的第2物体从所述第2支撑面上搬入至所述保持面上；所述保持装置，以当藉由所述第2搬送装置将所述第2物体搬入至所述保持面时，将所述第2物体曝光的方式往沿着所述保持面的方向移动。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于株式会社尼康，未经株式会社尼康许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201610497314.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：大蓟根复合酱油的加工方法
- 下一篇：一种海鲜火锅底料
