[发明专利]光刻机动态调平调焦方法有效
| 申请号： | 201610498133.5 | 申请日： | 2016-06-29 |
| 公开（公告）号： | CN107544213B | 公开（公告）日： | 2019-10-25 |
| 发明（设计）人： | 许伍;廖飞红;季采云 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备（集团）股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G03F9/02 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种光刻机动态调平调焦方法，工件台在交接位承载工件，并向对准位开始步进；在工件台匀速运动过程中，采用动态调平调焦装置对工件的垂向高度进行扫描测量，所述动态调平调焦装置安置于工件台交接位与对准位之间的直线匀速段；通过信号处理器处理上述扫描信息，同时获得工件的表面水平信息和焦面信息；对工件台上的工件进行调平调焦。本发明中，所述工件从交接位运动至动态调平调焦装置，再运动至对准位，其中动态调平调焦装置安置于交接位到对准位的直线位置上，减小了运动台从交接位到对准位的移动距离，并在运动台运动过程中的匀速段进行多次位置测量并最终实现工件位置调平。 | ||
| 搜索关键词： | 光刻 机动 平调 方法 | ||
【主权项】：
1.一种光刻机动态调平调焦方法，其特征在于，包括：工件台在交接位承载工件，并向对准位开始步进；在工件台匀速运动过程中，采用动态调平调焦装置对工件的垂向高度进行扫描测量，所述动态调平调焦装置安置于工件台交接位与对准位之间；通过信号处理器处理上述扫描信息，同时获得工件的表面水平信息和焦面信息；对工件台上的工件进行调平调焦。
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