[发明专利]一种平面螺旋电感的新型制作方法

摘要

本发明涉及一种平面螺旋电感的新型制作方法，采用玻璃或石英衬底进行平面螺旋电感的制作；采用MEMS技术，包括金属薄膜淀积工艺、介质层薄膜淀积工艺、厚金属层电镀工艺、厚胶光刻工艺、刻蚀工艺等实现平面螺旋电感的制作；平面螺旋电感与衬底之间不需要厚的绝缘层进行隔离；平面螺旋电感的平面形状、线圈厚度不受限制。本发明通过在玻璃或石英衬底上，利用MEMS技术实现平面螺旋电感的制作，避免了高频时线圈与衬底间的耦合和趋肤效应，能够实现高Q值的电感，同时电感线圈的金属层厚度不受限制，使得线圈的损耗低。工艺简单，能够满足信号隔离器、平面天线、微波基带线、平面螺旋电感谐振器等多种领域的需求，降低了工艺难度。

主权项

1.一种平面螺旋电感的制作方法，其特征在于步骤如下：(1)选用玻璃或石英作为衬底材料，在石英或玻璃衬底上形成金属导线；(2)在步骤(1)的衬底和金属导线上同时形成中间绝缘层(03)，然后利用光刻和刻蚀工艺，在中间绝缘层(03)上形成金属导线引线孔(031、032)；(3)利用金属薄膜淀积工艺在步骤(2)的中间绝缘层(03)和金属导线引线孔(031、032)的表面上形成金属薄膜种子层；(4)利用MEMS厚胶光刻工艺，用光刻胶作为模版，在步骤(3)金属薄膜种子层上形成螺旋金属线圈(04)和信号输入/输出端图形的光刻胶模版，在形成螺旋金属线圈(04)和信号输入/输出端图形上露出金属薄膜种子层；(5)在步骤(4)的光刻胶模版上露出金属薄膜种子层的位置，利用电镀工艺进行镀金，然后去除光刻胶模版，利用刻蚀工艺去除步骤(3)的金属薄膜种子层，形成螺旋金属线圈(04)和信号输入/输出端(041、042)，其中，信号输入/输出端(041、042)中的一个信号输入/输出端(041)接触金属导线引线孔(031、032)中的一个金属导线引线孔(031)，然后在惰性气体保护中，对螺旋金属线圈(04)和信号输入/输出端(041、042)进行合金处理；(6)利用介质层淀积工艺在步骤(5)合金处理后的螺旋金属线圈(04)、中间绝缘层(03)上淀积钝化层(05)；(7)利用光刻和刻蚀工艺，用光刻胶作为掩膜，在步骤(6)的钝化层(05)上光刻形成螺旋金属线圈引线孔(051、052)，从螺旋金属线圈引线孔(051、052)露出信号输入/输出端(041、042)中的另一个信号输入/输出端(042)和金属导线引线孔(031、032)中的另一个金属导线引线孔(032)，最后去掉光刻胶，完成平面螺旋电感的制作；(8)采用机械或激光切割方式，对圆片(01)沿着设定的划片道(102)进行划片，分隔出单个平面螺旋电感芯片(101)。