[发明专利]抑制干扰的微机电陀螺仪以及感测角速率的方法

摘要

本公开涉及抑制干扰的微机电陀螺仪以及感测角速率的方法。其中，一种陀螺仪，包括：衬底(2)；第一结构(11)、第二结构(12)和第三结构(10)，弹性地耦合至衬底(2)并且可沿着第一轴(X)移动，第一和第二结构(11；12)相对于第一轴(X)布置在第三结构(10)的相对侧；驱动系统(4、16a、16b、20a、20b)，被配置为彼此同相地以及与第三结构(10)反相地沿着第一轴(X)振荡第一和第二结构(11、12)；第一、第二和第三结构(11、12、10)设置有感测电极(17a、21a)的相应集合，被配置为响应于衬底(2)关于垂直于第一轴(X)和第二轴(Y)的第三轴(Z)的旋转沿着垂直于第一轴(X)的第二轴(Y)偏移。

主权项

一种微机电陀螺仪，包括：衬底(2；102；202；302)；第一结构(11；111；211；311)、第二结构(12；112；212；312)和第三结构(10；110；210；310)，弹性地耦合至所述衬底(2；102；202；302)以沿着第一轴(X)在驱动方向上可移动，所述第一结构(11；111；211；311)和所述第二结构(12；112；212；312)相对于所述第一轴(X)布置在所述第三结构(10；110；210；310)的相对侧；驱动系统(4、16a、16b、20a、20b；216a、216b、220a、220b；316a、316b、320a、320b)，被配置为彼此同相地沿着所述第一轴(X)振荡所述第一结构(11；111；211；311)和所述第二结构(12；112；212；312)，并且被配置为与所述第一结构(11；111；211；311)和所述第二结构(12；112；212；312)反相地沿着所述第一轴(X)振荡所述第三结构(10；110；210；310)；所述第一结构(11；111；211；311)、所述第二结构(12；112；212；312)和所述第三结构(10；110；210；310)设置有感测电极(17a、21a；117a、121a；217a、221a；317a、321a)的相应集合，被配置为响应于所述衬底(2；102；202；302)关于垂直于所述第一轴(X)和第二轴(Y)的第三轴(Z)的旋转而沿着垂直于所述第一轴(X)的所述第二轴(Y)在感测方向上偏移。