[发明专利]一种双通道宽光谱探测器及其制备方法

摘要

一种双通道宽光谱探测器及其制备方法，该双通道宽光谱探测器包括衬底和台体结构，所述台体结构包括依次层叠于衬底上的下电极接触层、第一吸收层、中电极接触层、隔离层、第二吸收层、上电极接触层，其中，在上电极接触层顶部形成上台面，在中电极接触层形成有中台面，在下电极接触层形成有下台面，上电极、中电极和底电极，分别设置于上台面、中台面和下台面上，分别与上电极接触层、中电极接触层上电极接触层电连接，该双通道宽光谱探测器可以用于宽光谱探测。

主权项

一种双通道宽光谱探测器，其特征在于，包括：衬底(1)；台体结构，包括：依次层叠于衬底(1)上的n型掺杂的GaSb形成的下电极接触层(2)、非故意掺杂的GaSb形成的第一吸收层(3)、p型掺杂的GaSb形成的中电极接触层(4)、p型掺杂的GaAs形成的隔离层(5)、非故意掺杂的GaAs形成的第二吸收层(6)、n型掺杂的GaSb形成的上电极接触层(7)，其中，在上电极接触层(7)顶部形成上台面，在中电极接触层(4)形成有中台面，在下电极接触层(2)形成有下台面；上电极(8)、中电极(9)和底电极(10)，分别设置于所述上台面、中台面和下台面上，与所述上电极接触层(7)、中电极接触层(4)、上电极接触层(2)电连接。