[发明专利]检查装置及被处理物检查方法有效
| 申请号： | 201610518496.0 | 申请日： | 2016-07-04 |
| 公开（公告）号： | CN106324872B | 公开（公告）日： | 2021-08-10 |
| 发明（设计）人： | 芮世熙 | 申请（专利权）人： | 灿美工程股份有限公司 |
| 主分类号： | G02F1/13 | 分类号： | G02F1/13 |
| 代理公司： | 北京青松知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11384 | 代理人： | 郑青松 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提出在检查被处理物的缺陷时能够由一个装置检查各种被处理物的缺陷的检查装置及被处理物检查方法，作为检查装置包括：支撑部，支撑被处理物；去除部，配置在所述支撑部的上侧，利用激光束选择性地去除形成在所述被处理物上部的膜的一部分；检查部，配置在所述支撑部上侧，并且接触于所述被处理物的元件以收发信号；光学部，在所述支撑部上侧向着所述检查部配置，从而可观察所述检查部；及控制部，利用由所述光学部观察到的图像，以控制所述检查部的移动。 | ||
| 搜索关键词： | 检查 装置 处理 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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