[发明专利]一种基于扫描电子显微镜的原位高温压痕测试系统

摘要

本发明提供了一种基于扫描电子显微镜的原位高温压痕测试系统，包括扫描电子显微镜，高温压痕测试单元，控制单元以及计算机；高温压痕测试单元包括底座，设于底座上表面一侧的调节台，设于底座上表面另一侧的高温压痕机构；扫描电子显微镜包括电镜极靴，样品腔室，舱门，功能扩展接口，通讯接口以及光纤接口；调节台上设有样品台，X轴调节装置、Y轴调节装置，Z轴调节装置；高温压痕机构包括加热装置，设于底座上的压头座，以及设于压头座上的压头，压头位于电镜极靴下方。本发明将扫描电子显微镜与高温压痕测试单元有机的结合在一起，电子束扫描成像与高温压痕可以同时进行，互不干扰，实现真正意义上的原位温度场材料性力学能测试。

主权项

一种基于扫描电子显微镜的原位高温压痕测试系统，其特征在于：包括扫描电子显微镜、高温压痕测试单元、控制单元以及计算机，所述高温压痕测试单元设于所述扫描电子显微镜的样品腔室内部，所述控制单元分别与所述扫描电子显微镜、所述高温压痕测试单元相连接，所述计算机与所述控制单元相连接；所述高温压痕测试单元包括底座、调节台和高温压痕机构，所述调节台上设置有所述样品台，所述调节台设置于所述底座上表面一侧，所述高温压痕机构设置于所述底座上表面另一侧；所述高温压痕机构包括压头、压头加热体、压头隔热层、压头座、力传感器、样品加热体以及样品隔热层；所述压头座设于所述底座上，所述压头设置于所述压头加热体之中，所述压头的尖端从所述压头加热体伸出，所述压头隔热层和压头加热体都设置于所述压头座上，所述压头隔热层位于所述压头加热体与所述压头座之间，所述力传感器设置于所述压头座与所述压头隔热层之间，所述压头加热体与所述样品加热体相对设置，所述压头的尖端指向所述样品加热体，所述力传感器、压头加热体、样品加热体都与所述控制单元相连接，所述压头的尖端位于所述扫描电子显微镜的电镜极靴的正下方。