[发明专利]一种单多晶硅链式酸碱一体制绒及其制备方法

摘要

本发明公开了一种单多晶硅链式酸碱一体制绒及其制备方法，该一体制绒流程为上料→酸绒→碱预洗→碱绒→碱洗→酸洗→下料，在多晶硅制绒时，除了碱绒这个槽体不配药液，其余均配液；单晶硅制绒时所有槽体的药液均配上。多晶制绒的制备方法为酸绒→碱预洗→碱洗→酸洗；单晶制绒的制备方法为酸绒→碱预洗→碱绒→碱洗→酸洗。本发明避免了单多晶切换时再次换溶液的可能，有效地减少了能耗，提高了设备利用率及人力成本和延长了药液使用寿命，节约了成本。

主权项

1.一种单多晶硅链式酸碱一体制绒的制备方法，其特征在于一体制绒流程为上料→酸绒→碱预洗→碱绒→碱洗→酸洗→下料，在多晶硅制绒时，除了碱绒槽体不配药液，其余均配液，在单晶硅制绒时所有槽体的药液均配上，其具体制备步骤如下：(1)多晶制绒的制备方法：(a)酸绒——使用O3/HF/HCL进行常温酸制绒，通过O3的强氧化性在硅片表面生成氧化层，再通过HF的刻蚀作用形成绒面，其中O3浓度为15‑40ppm，HF/HCl体积比为1:1—5:1，酸绒时间为2‑5min；(b)碱预洗——采用KOH/H2O溶液配比为2:100—5:100，碱预洗时间为0.5‑5min，中和酸绒中的酸；(c)碱洗——采用KOH/H2O2溶液，其体积比为6:1—10:1，碱洗时间为1‑5min；(d)酸洗——采用HF/HCl药液，进行硅片表面的清洁及脱水功能，利于烘干的进行，其体积比为1:1—5:1，酸洗时间为1‑5min；(2)单晶制绒工艺的具体流程如下：(a)酸绒——使用O3/HF/HCL进行酸预洗，有效的去除硅片表面的脏污，且无花片产生；其中O3浓度控制在15‑40ppm，HF/HCl体积比为1:1—5:1，预洗时间为1‑5min，较多晶酸绒时间略短；(b)碱预洗——采用KOH/H2O溶液配比控制在2:100—5:100，预洗时间为0.5‑5min，中和酸绒中的酸；(c)碱绒——采用KOH/添加剂，体积比为15:1—8:1，溶液温度为75‑85℃，制绒时间为2‑5min；(d)碱洗——采用KOH/H2O2溶液，其体积比为6:1—10:1，碱洗时间为1‑5min；(e)酸洗——采用HF/HCl药液，进行硅片表面的清洁及脱水功能，利于烘干的进行，其体积比为1:1—5:1，酸洗时间为1‑5min。